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チップレット実装のテスト、評価技術

チップレット実装のテスト、評価技術

～チップレット集積に向けた動向、求められる材料、パッケージ、接合、評価技術～
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概要

本セミナーでは、チップレットについて基礎から解説し、チップレット集積技術、最新動向から 新たなテストの考え方や手法、規格について詳解いたします。

開催日

  • 2025年2月12日(水) 12時30分 ～ 16時30分

修得知識

  • チップレットの概要
  • チップレットテストの動向と考え方
  • チップレット標準テスト規格IEEE 1838とバウンダリスキャン
  • TSV 接続障害回避技術とUCIeリペア規格
  • アナログバウンダリスキャンによるTSVの新たな評価技術

プログラム

　チップレットは多数のチップを1パッケージに集積する技術であり、従来のチップ単体テスト手法だけでは不十分となり、新たなテストの考え方やテスト手法が必要となる。チップレット集積回路の歩留まりは、チップ集積前のKGD保証に大きく依存するで、その考え方やテスト手法を紹介する。パッケージ内の多数のチップ間のインターコネクションテストはチップ単体のテストにはない概念であり、チップレットテストのために新たに制定されたテスト規格IEEE1838を紹介する。なおIEEE1838規格はバウンダリスキャンテスト規格IEEE1149.1をベースとしているのでこれについても解説する。さらにチップ積層後の各チップの機能テスト手法を紹介する。最後に3D-ICにおけるチップ間3D接続のためのTSVやハイブリッドボンディングは益々高密度化が進み、デイジーチェインなどの従来評価方法では限界がある。そこで、アナログバウダリスキャン技術を応用した新たな3D接続評価技術を紹介する。

  1. はじめに
    1. 講師Biography
    2. 富士通の大型計算機のテクノロジーとテスト技術のあゆみ
    3. バウンダリスキャン普及活動
  2. チップレットの概要
    1. チップレットとは
    2. なぜ、今チップレットなのか
    3. ムーア則とスケーリング則
    4. チップレットの効果
    5. チップレットの適用事例
    6. チップレット実装の例
    7. インターポーザの動向
  3. チップレットテストの動向
    1. チップレット集積のテスト工程
    2. KGD選別の重要性
    3. Pre-Bond Test とウェーハプローバ
    4. インターポーザのテスト
    5. システムレベルテストSLT
    6. ICの機能テストと構造テスト
    7. ATEとSLTのテストメカニズム
    8. サイレントデータ破損 ( Silent Data Corruptions)
    9. Intelにおける「真のKGD選別」のためのテスト戦略
  4. チップレット間のインターコネクションテスト
    1. チップレットは小さな実装ボード
    2. 実装ボードの製造試験工程
    3. 実装ボードやチップレットの機能テストと構造テスト
    4. バウンダリスキャンとは
    5. IEEE 1149.1 バウンダリスキャンテスト回路
    6. バウンダリスキャンテストによるはんだ接続不良検出動作例
    7. オープンショートテストパターン
    8. ロジック-メモリ間のインターコネクションテスト
    9. チップレットのためのテスト規格IEEE 1838
    10. チップ積層後のIEEE 1838 FPP による各チップの機能テスト
    11. チップ積層後のTSV 接続障害復旧方式
    12. UCIe規格でのTSV リペア方式
    13. TSMCのチップレットテスト事例
  5. TSVの接続品質評価技術
    1. 3D-ICのチップ間接続 (TSV, ハイブリッドボンディング) の高密度化と課題
    2. TSV 接合での欠陥と相互接続障害
    3. 従来評価技術の問題点
      • デイジーチェイン
      • ケルビン計測
    4. TSV 評価時のアウトライヤ検出の重要性
    5. TSV の個別抵抗計測による効果
    6. アナログバウンダリスキャンIEEE 1149.4による精密微少抵抗計測
    7. 従来のIEEE 1149.4 標準抵抗計測法の問題点と解決案
    8. IEEE 1149.4 標準抵抗計測法の改善で真の4端子計測法の実現
    9. TSV個別精密微少抵抗計測回路の3D-IC への実装例
    10. 提案回路の検証実験結果
    11. 提案回路のLSIへの実装 (配置配線) 事例
    12. 提案回路の適用シーン案と期待効果
  6. まとめ
  7. Q & A
    • 質疑応答
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講師

  • 亀山 修一 氏
    愛媛大学 大学院 理工学研究科
    客員教授
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主催

株式会社 技術情報協会
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    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
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  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

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