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ドライ洗浄技術の動向と環境負荷低減に向けた製造工程への応用

ドライ洗浄技術の動向と環境負荷低減に向けた製造工程への応用

～製造工程においてドライ洗浄に求められる要件とは / 各種洗浄技術の特徴と適用ポイントについて解説～
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開催日

  • 2025年1月23日(木) 10時30分 ～ 16時20分

プログラム

第1部 ドライアイスブラスト装置の紹介とドライ洗浄への応用

(2025年1月23日 10:30〜11:40)

　工業用途では以前より広く使用されているドライアイスブラスト洗浄ですが、近年の部品の微細化・高集積に伴い半導体分野においても活用が期待される装置です。
　本講演では、当社ドライアイスブラスト装置の種類・特徴・実例を踏まえた製造現場での適合分野をご紹介致します。

  • 当社の紹介
  • ドライアイスブラストの歴史
  • 洗浄原理
  • ドライアイスブラスト装置の種類
  • 半導体顧客向けドライアイスブラスト装置のご紹介
  • 強力洗浄対応ドライアイスブラスト装置とDIメディア製造装置のご紹介
  • カーボンニュートラルとPFAS規制について
  • 質疑応答

第2部 エキシマランプ (UV光) を用いた洗浄技術と基板のドライ洗浄への応用

(2025年1月23日 12:30〜13:40)

　Xe2*エキシマ光 (波長172 nm) を用いたVUV 処理技術は、精密ドライ洗浄のツールとしてFPD製造プロセスの分野で広く利用されてきた。昨今ではVUV 処理によるドライ洗浄、表面改質の特徴を生かして、さまざまな分野への応用・展開がなされるようになってきており、デバイスの微細化、高性能化をもたらすものとして期待が高まっている。
　本セミナーでは,今後さらに新たな分野・プロセスで用途が拡大していくと思われるVUV処理技術について紹介する。

  1. エキシマ光による精密ドライ洗浄技術
    1. エキシマランプの特徴
    2. 精密ドライ洗浄の原理
  2. 精密ドライ洗浄の事例
    1. LCD製造での導入事例
    2. 半導体製造での導入事例
    3. 半導体ウエハに対するVUVドライ洗浄
    4. ガラス基板に対するVUVドライ洗浄
    5. 金属表面に対するVUVドライ洗浄
  3. 応用事例
    1. 各種プラスチックの親水化
    2. ダメージフリーアッシング
    3. プラスチックの常温接合技術
    • 質疑応答

第3部 レーザクリーニングによるドライ洗浄化

(2025年1月23日 13:50〜15:00)

　近年新たなクリーニング手法として採用が進んでいるレーザクリーニング技術。レーザクリーニングの基本となる原理や効果、メリットやデメリット、 弊社装置の特徴などを改めて解説し、実際の適用事例も交えてドライなレーザクリーニングの魅力をお届けする。

  • 会社紹介
  • レーザクリーニング原理
  • レーザクリーニング装置「イレーザー」紹介
  • レーザ照射による材料への影響
  • レーザ洗浄適用によるメリットとデメリット
  • 適用事例紹介
  • レーザクリーニング適用のためのサポート体制について
  • まとめ
  • 質疑応答

第4部 エアー式非接触ドライ洗浄技術の基礎とドライクリーナの運用紹介

(2025年1月23日 15:10〜16:20)

　あらゆるモノの製造工程において汚染、ゴミの発生は避けられず洗浄工程が検討、採用されているが、洗浄効果とコスト面からターゲットに対して適切な洗浄方式を選択することが重要です。
　本講演では比較的低コストである空気噴流を利用した非接触でミクロンオーダーの異物を除去するドライ洗浄技術と現場でのドライクリーナの運用例を紹介します。

  • 会社紹介
  • 異物の付着力と分離力についての基礎
  • 超音波ドライクリーナとは
  • 数値計算の紹介
  • 非接触式ドライクリーナ運用事例の紹介
  • 接触式クリーナの紹介
  • 質疑応答
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講師

  • 宮本 康司 氏
    大陽日酸 株式会社 インベーションユニット
    部長
  • 有本 太郎 氏
    ウシオ電機 株式会社 事業統括本部 システムソリューション事業部 光プロセスGBU 第一技術部 光源システム設計課
    シニアエンジニア
  • 高橋 慧輔 氏
    東成エレクトロビーム株式会社 技術部 研究開発課
    主任
  • 添本 和彦 氏
    株式会社 伸興 本社工場 開発課
    課長
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主催

株式会社 技術情報協会
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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 60,000円 (税別) / 66,000円 (税込)
複数名
: 55,000円 (税別) / 60,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 55,000円(税別) / 60,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 110,000円(税別) / 121,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 165,000円(税別) / 181,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
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