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PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

~半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況~
オンライン 開催

視聴期間は2024年9月17日〜10月2日を予定しております。
お申し込みは2024年9月17日まで承ります。

概要

本セミナーでは、半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物 (PFAS) について取り上げ、PFASに関連する規制、現在の対応状況、今後の展開について詳解いたします。
また、半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向についても解説いたします。

開催日

  • 2024年9月17日(火) 13時00分 2024年10月2日(水) 16時00分

プログラム

 有機フッ素化合物 (PFAS) の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。
 本セミナーでは、PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約 (POPs条約) および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

  1. PFASとは
    1. PFAS関連のニュース
    2. PFASの種類と性質
    3. PFASの用途
  2. PFAS規制の動向
    1. POPs条約
    2. 日本の規制動向
    3. 欧州の規制動向
    4. 米国の規制動向
  3. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (前工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. リソグラフィー
    3. ウエットエッチング
    4. ドライエッチング
    5. 配管材料等
  4. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (後工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. テープ・フィルム類
    3. モールド材
    4. 基板層間膜
  5. PFAS処理と代替材料の動向
    1. 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
    2. 廃液処理の現状
    3. PFASの分析方法
    4. 代替材料開発動向
    5. 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
  6. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 礒部 晶
    株式会社 ISTL
    代表取締役

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 32,400円 (税別) / 35,640円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

アーカイブ配信セミナー

  • 「ビデオグ」を使ったアーカイブ配信セミナーとなります。
  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCなどからご視聴ができます。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 別途、ID,パスワードをメールにてご連絡申し上げます。
  • 視聴期間は2024年9月17日〜10月2日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
本セミナーは終了いたしました。

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