水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。
　半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
　最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
2. 洗浄の4要素:力学が最も大切である理由
   • 温度
   • 時間
   • 化学
   • 力学
3. 半導体の洗浄に特有のこと (洗浄で実現したい状態)
4. 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
5. 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
   1. 化学で汚れを動かす操作
      • 薬液の働き (付着・脱離・引き剥がす) と乾燥
   2. 力学で汚れを動かす操作
      • 流れ
      • 熱
      • 拡散
   3. 装置内流れの種類
      • 完全混合
      • 押出流れ
      • 境界層
   4. 流れの可視化観察 (「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
6. 洗浄機内の流れと反応
   1. 枚葉式洗浄機
      1. 水の流れの実例 (実機の観察動画とシミュレーションの例)
      2. ノズルのスイングを続ける工学的理由
      3. 化学反応の例 (表面反応もここまで分かる)
   2. バッチ式洗浄機
      1. 水の流れの実例 (実機の観察動画とシミュレーションの例)
      2. 水流を低コストで最適化した事例 (入口と出口を変える)
      3. 上下揺動で流れを巻き込む
   3. 超音波の働き
      1. 水と気泡の動きの実例 (実機の観察動画)
7. 洗浄結果の評価方法
8. 狭い空間の洗浄 (盲点と工夫)
9. まとめ:困った時の視点と対策 (境界層を壊そう!)
10. まとめ:困らないように (地球環境は壊さない!)
• 質疑応答