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スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用

スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、スパッタの原理を確認し、さらに最新のカソード技術を紹介しながら、現場の品質向上についても解説いたします。

開催日

  • 2024年6月6日(木) 10時30分 16時30分

修得知識

  • スパッタリング率の測定法
  • 圧力と薄膜の構造の関連性
  • 薄膜作成時の基板温度上昇の制御法
  • 真空装置内のアウトガスの低減
  • ターゲットの作り方、選び方、使い方
  • プラズマ電源使用時の動作不安定の理由

プログラム

 スパッタ技術は、再現性が良く大面積にも均一性があり、低温においても密着性良く成膜出来る重要な技術であり、フィルム基板、プラスチック基板など多くの製品に使われている。そのため、生産現場における利用も増加し、コストダウン、密着性の向上、自動化の推進等様々なニーズや課題が生じている。
 本セミナーでは、スパッタの原理を確認し、さらに最新のカソード技術を紹介しながら、現場の品質向上についても解説する。

  1. スパッタリングの理解とノウハウ
    1. スパッタリング現象とは
    2. 蒸着膜との違い
    3. スパッタリング率
    4. 平均自由行程とは
    5. 圧力と薄膜の構造の関係
    6. 入射エネルギーと測定法
    7. スパッタ膜のダメージと低ダメージのポイント
  2. スパッタでの重要な要素技術
    1. DC、RF、パルス電源の原理、違い
    2. パルス電源のメリット
    3. 各種マグネトロン方式による膜質改善
    4. 各種カソードの特徴と使う時の注意点
    5. ロータリーカソードの長所、短所
    6. 化合物膜の作製法
    7. ターゲットの利用効率を上げるポイント
    8. ターゲットを長時間使う際の注意点
  3. 反応性スパッタ
    1. 反応性スパッタのメリット
    2. ヒステリシス現象とは?
    3. インピーダンス制御
    4. 遷移領域を使った高速成膜
    5. 成膜速度を上げる方法、種類
    6. アーキングを減らすには?
    7. アノード消失とは?
    8. 大面積での膜厚均一化と評価
    9. プラスチックフィルム基板などの低温成膜
  4. 最近話題の用途
    1. 透明導電膜
      • タッチパネル
      • 次世代ディスプレイなど
    2. 光学薄膜
      • 低温製膜
      • ハイバリア膜
      • 光学レンズなど
    3. 省エネ用膜
      • 太陽光パネルなど
    4. 装飾膜
      • 金属色調フィルムなど
  5. 技術トピックス
    1. HIPIMS技術 (高電力スパッタ技術)
    2. シミュレーション技術 5.3 ガスフロースパッタ
  6. 各種トラブルシューティング対策
    • 膜剥がれ
    • 密着性改善など
    • 質疑応答

講師

  • 小島 啓安
    有限会社アーステック
    代表取締役

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

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