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フォトレジスト材料の基礎と課題・開発動向

フォトレジスト材料の基礎と課題・開発動向

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体産業について取り上げ、フォトレジスト材料の基礎から、現役フォトレジストサプライヤー目線の最新のEUVレジストの課題と開発状況について解説いたします。

開催日

  • 2024年3月13日(水) 13時00分 17時00分

受講対象者

  • 極端紫外線リソグラフィ EUVL に関連する技術者、開発者、研究者
    • 半導体
    • プリント基板
    • 印刷版
    • 液晶ディスプレイパネル
    • プラズマディスプレイパネル
    • 光源 など

修得知識

  • フォトレジスト材料の基礎
  • 現役フォトレジストサプライヤー目線の最新のEUVレジストの課題と開発状況

プログラム

 昨今、私たちは新たなデジタル社会に直面、半導体の重要性が以前にも増して重要となっており、一般のニュースでも毎日のように半導体という言葉を耳にする。IOT、AI、Society5.0等の発展のためには、さらなるデバイスの高速化、大容量化、省電力化が求められており、そのためにはトランジスタ配線の微細化が不可欠である。それを支えているのがリソグラフィの微細化であり、フォトレジスト材料が鍵技術となっている。究極の微細化として期待されたEUVリソグラフィは、35年の時を経て2019年に実用化された。
 地政学的観点からも半導体は日本にとって重要なピースとなり政府の半導体への取り組みも前のめりである。現在半導体材料に従事する方、今後従事するであろう方々にとってフォトレジスト開発の流れを知ることは、さらなる発展に対して非常に有用であると思われる。さらなる発展の期待をこめて、過去を振り返りながら現在の課題について解説する。

  1. 私たちの世の中を取り巻く環境の変化
    1. アナログからデジタルへ
    2. 昨今話題の日本の半導体産業への取り組み
  2. リソグラフィ微細化の歴史
    1. リソグラフィとは?
    2. フォトレジストって何?どこに使われている?
    3. なぜフォトレジストが必要か?
    4. 微細化を牽引するムーアの法則とそれを実現するリソグラフィ微細化の歴史
    5. フォトレジストのケミストリーと要求性能 (化学増幅型レジストの誕生)
    6. KrFレジストからArFレジストへ。何が難しかったのか?
    7. EUVリソグラフィ実用化困難時代に生まれたArF液浸リソグラフィ
    8. ArF液浸リソグラフィ延命化の切り札、富士フイルムによるNegative-tone Development (NTD) 技術の発明
  3. EUVリソグラフィ
    1. EUVリソグラフィの歴史、実用化に必要な3つの課題とその重要性の推移
    2. 最初に立ちはだかった大きな課題、アウトガス問題
    3. 国家プロジェクトにて対応したアウトガス問題解決 (EIDEC成果)
    4. 国家プロジェクトにて対応した露光機課題や新規材料 (メタルレジスト) 開発
    5. EUVレジスト特有の課題、ストカスティック因子に関して
    6. リソグラフィ工程にいけるストカスティック因子解析
    7. フォトンストカスティックとケミカルストカスティックの解析と解決手段例
    • 質疑応答

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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