技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/6/27 | 高周波用基板材料に求められる特性と材料設計・低誘電損失化 | オンライン | |
2024/6/27 | プラスチックの力学特性と評価方法および複合化による改善手法 | オンライン | |
2024/6/27 | ポリウレタンの基礎とアミン触媒の構造および開発動向 | オンライン | |
2024/6/28 | レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 | オンライン | |
2024/6/28 | 固体高分子材料の動的粘弾性測定 | オンライン | |
2024/6/28 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/2 | EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性 | オンライン | |
2024/7/2 | ポリマー合成の自動化とプロセス分析 | オンライン | |
2024/7/3 | 粘着剤の基礎知識と評価法 | オンライン | |
2024/7/4 | 樹脂用添加剤におけるブリードアウト・ブルーム現象の発生機構と その制御・対策 | オンライン | |
2024/7/4 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
2024/7/5 | 製品設計に役立つゴム材料の勘所と最適設計手法 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/7/5 | レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 | オンライン | |
2024/7/5 | UV塗料の設計における必須基礎知識と今後の塗料設計の留意事項 | オンライン | |
2024/7/5 | サーキュラーエコノミーが目指す持続可能な社会におけるプラスチックの使い方 | オンライン | |
2024/7/9 | 固体高分子材料の動的粘弾性測定 | オンライン | |
2024/7/10 | タイ分子の基礎と応用 | オンライン | |
2024/7/10 | ポリウレタンの基礎とアミン触媒の構造および開発動向 | オンライン | |
2024/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/11 | 高分子材料における添加剤の基礎知識と分析技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |
2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |
2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
2012/9/27 | 熱膨張・収縮の低減化とトラブル対策 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |