技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/5/9 | 高分子材料 (樹脂・ゴム材料) における変色劣化の機構とその防止技術 | オンライン | |
2024/5/10 | エポキシ樹脂用硬化剤の種類、反応機構、選び方、使い方 | オンライン | |
2024/5/10 | 熱分析の基礎と測定・解析技術 | オンライン | |
2024/5/10 | 熱分析による高分子材料 (プラスチック・ゴム・複合材料) の測定・解析の基礎とノウハウ | オンライン | |
2024/5/10 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/13 | 高分子材料のトライボロジー: トライボロジーの基礎から摩耗・摩擦低減技術の手法と特徴まで | オンライン | |
2024/5/14 | ポリマーアロイの基本、構造・物性および新規ポリマーアロイの材料設計の必須 & 実践知識 | オンライン | |
2024/5/14 | ブリードアウトの発生メカニズムと制御、測定法 | オンライン | |
2024/5/14 | 熱可塑性エラストマー (TPE) の基礎と生分解性TPEの開発 | オンライン | |
2024/5/15 | 高分子の結晶化、結晶高次構造の制御、分析解析、その応用 | オンライン | |
2024/5/15 | UV硬化樹脂における硬化不良対策と硬化状態の測定・評価 | オンライン | |
2024/5/15 | ヒートシールのくっつくメカニズムと不具合対策、品質評価 | オンライン | |
2024/5/16 | 二軸押出機による混練技術とプロセス最適化 | オンライン | |
2024/5/16 | 高分子材料における添加剤の基礎知識と分析法、変色の特徴と分析技術 | オンライン | |
2024/5/17 | エポキシ樹脂の構造、特性と硬化剤の選び方・使い方、トラブル対策 | オンライン | |
2024/5/17 | 高分子材料のトライボロジー: トライボロジーの基礎から摩耗・摩擦低減技術の手法と特徴まで | オンライン | |
2024/5/20 | 廃プラスチックの最新リサイクル技術の動向 | オンライン | |
2024/5/20 | 導電性高分子の基礎と最新の研究動向・応用 | オンライン | |
2024/5/21 | 高分子材料のモノマー化、解重合反応とケミカルリサイクルの動向 | オンライン | |
2024/5/21 | 摩擦振動と異音の発生メカニズムと抑制・対処方法 | オンライン |
発行年月 | |
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2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |
2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |
2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
2012/9/27 | 熱膨張・収縮の低減化とトラブル対策 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |