技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/4/4 | めっきの基礎および処理方法とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/4/8 | 蒸着法による機能性有機分子の薄膜化技術 | オンライン | |
| 2025/4/10 | めっきの基礎と応用およびトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/4/11 | 熱処理の基礎および熱が製品の特性と品質に与える影響 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/4/14 | 半導体分野を革新するめっき技術 | オンライン | |
| 2025/4/14 | 副資材を利用した高分子材料の設計技術 | オンライン | |
| 2025/4/15 | シランカップリング剤を効果的に活用するための総合知識 | オンライン | |
| 2025/4/17 | ロールtoロールによる高機能フィルム製造のための製膜・延伸技術と塗布・ラミネート技術 | オンライン | |
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| 2025/4/21 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
| 2025/4/23 | ロールtoロールによる高機能フィルム製造のための製膜・延伸技術と塗布・ラミネート技術 | オンライン | |
| 2025/4/23 | 微粒子・ナノ粒子の作製・表面修飾・分散と応用 | オンライン | |
| 2025/4/24 | 金属の表面処理技術 | オンライン | |
| 2025/4/24 | 塗布膜乾燥のメカニズムとその制御、トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/4/25 | 半導体製造におけるプロセスインフォマティクスの活用技術 | オンライン | |
| 2025/5/8 | 塗布膜乾燥のメカニズムとその制御、トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/5/9 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
| 2025/5/13 | 微粒子・ナノ粒子の作製・表面修飾・分散と応用 | オンライン | |
| 2025/5/15 | 自動車のEV化とプラスチックの電磁波シールドめっき | オンライン | |
| 2025/5/19 | フッ素系コーティング剤の構造、機能、各種用途展開、PFAS問題への対応 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |