技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2023/10/6 | 塗布 (コーティング) 液の流動シミュレーション技術と最適な塗布プロセス構築への活用例 | オンライン | |
| 2023/10/11 | 機械設計技術者のための設計力強化講座 | 愛知県 | 会場 |
| 2023/10/12 | 異種材料接着 (樹脂/金属、樹脂/樹脂) のメカニズムと接合界面の密着性評価 | オンライン | |
| 2023/10/12 | 塗装・コーティング・フィルム製造現場のゴミ・異物対策セミナー | 愛知県 | 会場 |
| 2023/10/13 | CVDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
| 2023/10/13 | 金属ナノ粒子・微粒子の総合知識と応用技術 | オンライン | |
| 2023/10/18 | プラスチック、フィルム、樹脂成形、コーティングにおける「ガラス転移」 、「エンタルピー緩和」の基本的な考え方、その測定、応用 | オンライン | |
| 2023/10/19 | 薄膜の剥離メカニズムと密着性改善 | オンライン | |
| 2023/10/20 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
| 2023/10/20 | 塗布による高均質薄膜作製と応用事例 | オンライン | |
| 2023/10/23 | 乳化重合・ソープフリー乳化重合によるポリマー微粒子の合成と粒子径・形状制御 | オンライン | |
| 2023/10/23 | 表面化学修飾技術の基礎と最新動向 | オンライン | |
| 2023/10/23 | メタマテリアル・メタサーフェスの基礎と応用 | オンライン | |
| 2023/10/27 | ALDの基礎と原料の開発・選択 | オンライン | |
| 2023/10/27 | ウェットコーティングの全体技術を速習 単層・重層塗布方式各々の特徴、および塗布故障の原因と対策を理解 | オンライン | |
| 2023/10/27 | ALD (原子層堆積法) による高品質膜作製・コーティング技術 | オンライン | |
| 2023/10/27 | 塗布による高均質薄膜作製と応用事例 | オンライン | |
| 2023/10/30 | ALD (原子層堆積法) 技術の基礎・入門と応用展開 | オンライン | |
| 2023/10/30 | めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 | オンライン | |
| 2023/10/30 | 高分子材料の劣化メカニズムと材料評価・分析技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |