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スパッタリングによる薄膜形成と膜質の改善、トラブル対策

スパッタリングによる薄膜形成と膜質の改善、トラブル対策

~成膜条件の解説、膜はがれ、クラック対策と緻密な膜の作り方~
オンライン 開催

開催日

  • 2023年1月20日(金) 10時30分 16時30分

プログラム

 スパッタ膜に関して、製造現場や開発現場で日々要求される改善、トラブル対策に直接役立つように、できるだけ詳細に具体的に解説します。そのための、実務に役立つように、関連した基礎知識をわかりやすく解説します。また、参加者が現在抱えている課題などに対しても、丁寧に解説したいと思います。

  1. スパッタリングの基礎知識
    1. スパッタの原理
    2. 蒸着とスパッタの違い (各成膜ファクター詳細比較)
    3. 平均自由行程
    4. 密着性・・・ 内部応力、評価
  2. スパッタリングの重要要素技術
    1. パルス電源
    2. マグネトロン技術
    3. 高速成膜技術
    4. ロータリーカソード
    5. トピックス
      • HIPIMS
      • シミュレーション
      • ガスフロースパッタ
  3. スパッタリング応用編
    1. スパッタ応用製品例
    2. スパッタに関する改善、対策例
      1. ターゲット利用率を上げるには?
      2. アーキングを減らすには?
      3. アノード消失を防ぐには?
      4. コストを下げるには?
      5. 密着性を上げるには?
      6. 緻密な膜を作るには?
  4. 参加者からの質疑応答

講師

  • 中川 茂樹
    東京工業大学 工学院 電気電子系
    教授
  • 小島 啓安
    有限会社アーステック
    代表取締役
  • 岩村 栄治
    ペルノックス 株式会社 開発センター
    センター長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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