技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、及び量産化対応

プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、及び量産化対応

~装置メーカーの立場から、プラズマCVD装置の技術/課題と対策を解説~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心に紹介いたします。

開催日

  • 2022年5月26日(木) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プラズマCVDの応用分野の技術者、研究者
    • 太陽光発電
    • ハイバリア成膜
    • 親水・撥水
    • ディスプレイ
    • 集積回路
    • ミニマルファブなど

修得知識

  • プラズマCVD装置の基礎
  • プラズマCVDの開発技術、周辺技術
  • プラズマCVD技術の課題と対策

プログラム

 当社は、1989年から「研究開発用半導体一貫製造システム」の開発を開始して、装置メーカーとして、30年以上の実績・経験があります。この講演では、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心にご紹介いたします。

  1. プラズマCVD装置の基本構造
    1. プラズマCVD装置の構成
    2. 反応チャンバーの基本構成
  2. プラズマCVD装置の用途
    1. 適用アプリケーション
  3. プラズマCVD装置のプロセス性能
    1. SiH4系SiO2膜
    2. SiH4系SiN膜
    3. SiH4系SiON膜
    4. SiH4系a – Si膜
    5. SiH4系SiC膜
    6. TEOS系SiO2膜
    7. 液体ソース系SiN膜
  4. 開発用装置と量産用装置
    1. プラットフォーム
  5. プラズマCVD装置の課題と対策
    1. 高レート化
    2. プロセスの再現性
    3. 低パーティクル
    4. チャンバークリーニング
    5. ウェーハ温度の低温化
    6. ウェーハ大口径化 など
    • 質疑応答

講師

  • 金尾 寛人
    SPPテクノロジーズ 株式会社 製造部
    次長

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2024/6/20 プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術 オンライン
2024/6/20 めっき技術/新めっき技術と半導体・エレクトロニクスデバイスへの応用・最新動向 オンライン
2024/6/21 フッ素樹脂をはじめとするPFASの基礎と欧州PFAS規制の動向および用途別の代替手段 オンライン
2024/6/25 界面・表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識と密着性の改善技術と評価方法 東京都 会場・オンライン
2024/6/25 分子プレカーサー法による機能性薄膜の形成と応用事例 オンライン
2024/6/27 ぬれ性の基礎と滑水性の評価・制御 オンライン
2024/6/28 ポリイミド入門講座 オンライン
2024/6/28 スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング オンライン
2024/7/2 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー 東京都 会場・オンライン
2024/7/3 スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング オンライン
2024/7/10 フッ素樹脂をはじめとするPFASの基礎と欧州PFAS規制の動向および用途別の代替手段 オンライン
2024/7/11 ポリイミド入門講座 オンライン
2024/7/22 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 オンライン
2024/7/23 プラスチックの加飾技術と最新動向 オンライン
2024/7/25 基礎から理解するポリイミドの高性能化・機能化設計 オンライン
2024/7/29 無機ナノ粒子の総合知識 東京都 会場・オンライン
2024/7/30 プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ オンライン
2024/7/30 次世代モビリティまでも俯瞰した車載用プラスチックの現状と動向 オンライン
2024/7/31 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 オンライン
2024/8/7 無機ナノ粒子の総合知識 オンライン

関連する出版物