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スパッタリング法の総合知識とトラブルシューティング

スパッタリング法の総合知識とトラブルシューティング

~物理現象の理解、分析・評価、特性安定化、密着性・信頼性の確保~
オンライン 開催
本セミナーは、申し込みの受け付けを終了いたしました。

概要

本セミナーでは、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説いたします。

開催日

  • 2021年9月24日(金) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • スパッタリング・成膜に関連する技術者
    • エネルギー分野
      • 反射防止膜保護膜
      • 透過膜太陽電池
    • 光学分野
      • 増透膜
      • 反射防止膜
      • 偏光膜
      • 保護膜
      • 赤外透過膜
      • 赤外線フィルター
      • 紫外線フィルター
    • ディスプレイ
      • 絶縁膜
      • 透明電極
      • 発光膜
    • 表面処理
      • 表面硬化膜
      • 固体潤滑膜 など
  • スパッタリング・成膜で課題を抱えている方

修得知識

  • スパッタリング法の総合的な知識
  • スパッタリング薄膜の特性の制御と改善の方法
  • スパッタリング薄膜の品質トラブルへの対策方法

プログラム

 スパッタリング法は、半導体、電子部品、フラットパネルディスプレイ、機能性フィルム、工具や金型など、様々な分野で広く活用される薄膜形成技術です。しかし、スパッタリング法についての実務知識を学ぶ機会は少ないのが現状です。スパッタリングの処理条件と、膜の品質特性の因果関係を結びつけることは容易ではなく、物理現象の理解や、膜の解析などの知識が必要となります。
 本講座では、スパッタリング法に関する物理現象の理解、分析や評価の技術、特性の安定化、密着性や信頼性の改善といった、技術者が知っておくべき総合的な知識と実践的なトラブル対応の事例等を網羅的・具体的に解説します。スパッタリング法の基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。スパッタリング薄膜の開発、生産技術に携わる実務者はもちろん、外部委託により薄膜を活用する技術者にとっても、重要な知識を得ることができます。

  1. スパッタリング法の基礎
    1. 薄膜技術の基本を知る
    2. スパッタリング法の特徴とその用途
    3. スパッタリング装置の構成
    4. スパッタリング工程の運用と管理方法
  2. スパッタリング法の物理現象
    1. 物理現象を把握することの重要性について
    2. スパッタリングの物理現象1 (プラズマ放電)
    3. スパッタリングの物理現象2 (スパッタリング)
    4. スパッタリングの物理現象3 (組織形成)
    5. スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
  3. スパッタリング薄膜の評価・分析技術
    1. スパッタリング薄膜に求められる機能とは
    2. あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
    3. 薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
    4. 特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
    5. 不具合現象解明のための元素・状態分析
    6. 信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
  4. スパッタリング薄膜の特性安定化
    1. 特性実現と特性安定化という2つの課題
    2. 特性と制御パラメータの間にあるものを理解する
    3. プロセスのばらつき・変動要因を理解する
    4. プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
    5. スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
    6. 事例
      • 特性値の悪化
      • バラツキ増大
      • トレードオフ
  5. スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
    1. 薄膜の密着と剥離のメカニズム
    2. 解析~原因追究の手順
    3. 密着性改善・安定化のための具体的な手法
    4. 薄膜の信頼性の問題と対策
    5. 【事例】密着性不足、信頼性不足、密着性の悪化
  6. スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
    1. スパッタリング薄膜の欠陥モード
    2. スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
    3. ピンホール・付着異物の原因究明と対策
    4. 変色・しわ・しみの原因究明と対策
    5. 事例
      • 微小欠陥の増加
      • 異物問題
      • 外観不良
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
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