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スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

~膜質制御法・膜応力低減法・密着力向上法について詳解~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、応力制御や密着性改善のために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルの対処法について解説いたします。

開催日

  • 2021年6月30日(水) 10時00分 16時30分

修得知識

  • 成膜と薄膜形成の基礎知識
  • 膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
  • 膜応力や密着力の評価方法と管理の基礎知識

プログラム

 本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、その基本となる考え方から現象の詳細、評価方法と材料設計への活かし方、対策に至るまでを具体的な成膜や特性改善事例をまじえながらわかりやすく解説します。
 主に無機・金属薄膜を取り上げますが、最新の話題を含めてできるだけ幅広い成膜技術を紹介します。特に、現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方にご参考になるような話題を提供したいと思います。

  1. 成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい
    1. 成膜方法により生じる膜質変化の具体例
    2. スパッタと真空蒸着の違い
    3. 成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
    4. 薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
    5. 成膜パラメータの制御やプロセスの最適化で注意したいポイント
  2. 膜の均一性・均質性を制御したい
    1. 膜質を効果的に制御する具体例
    2. プラズマとは
    3. プラズマ状態を知ることによる効果
    4. プラズマの状態を知る方法
      • プラズマ特性と電子エネルギー分布関数の評価
      • a-C膜にみるプラズマパラメータと微細構造との関係
      • 膜質の不均一性:プラズマの影響
      • イオン・高エネルギー照射現象と膜質の改善
      • イオン照射と残留応力の関係:Davisモデル
      • 段差被覆性の改善
  3. 膜応力を低減したい
    1. 膜応力が原因となった不具合とその対策の具体例
    2. 応力発生メカニズムと応力制御のための基礎知識
    3. 多層膜やパターニングされた薄膜の応力で注意する点
    4. 膜応力低減の各種手法とその考え方
    5. 膜応力の評価手法のポイント
      • X線回折法
      • ラマン分光法
      • 基板曲率法
  4. 密着力を良くしたい
    1. 薄膜の密着力問題に対処する具体例
    2. 基板と薄膜の界面をしっかり観察する
    3. 剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
    4. 密着性改善の考え方
    5. 密着性改善のための具体的な対策
    6. スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方
  5. まとめ

主催

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お問い合わせ

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(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

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    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
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  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
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  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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