技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。
スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つがゆえである。
しかしながら、同時にこのスパッタ粒子の大きなエネルギーが異物の発生を引き起こしたり、薄膜に大きな応力を残留させたりするという短所をも生じさせることになる。応力の残留と、それにともなう付着力の低下はプロセスやデバイスの信頼性を保証する上での大きな問題であり、スパッタリング生産において必ず遭遇する問題であるともいえる。
本講演では、スパッタリング法の技術基盤を学んでいくことにより、生産あるいは技術開発の現場において遭遇するいろいろなトラブルに対応する力を身につけていくことを目標とし、スパッタリングプロセスの特徴とスパッタリングプロセスにより得られる薄膜物性の特徴を解説する。生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。
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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/5/16 | ぬれ (撥水/撥油・親水性) の基礎と液体の滑落性を向上させるための表面設計と最新開発動向 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/5/20 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2025/5/21 | Roll To Rollにおけるフィルム乾燥の基礎と実践、設備設計と面状トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/5/22 | ダイコーティングの基礎理論とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/5/22 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場 |
| 2025/5/23 | CVD・ALD法による薄膜形成技術のプロセス・反応解析と装置の設計 | オンライン | |
| 2025/5/23 | 自動車のEV化とプラスチックの電磁波シールドめっき | オンライン | |
| 2025/5/26 | 無機ナノ粒子の総合知識 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/5/28 | ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術 | オンライン | |
| 2025/5/28 | 大気圧プラズマによる表面改質と界面評価 | オンライン | |
| 2025/5/28 | 包装における多層化フィルムの加工技術とリサイクル課題・展望 | オンライン | |
| 2025/6/4 | めっき技術の基礎と品質トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/4 | ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術 | オンライン | |
| 2025/6/5 | ファイバーレーザ加工技術の基礎と応用および動向 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/6/5 | ダイコーティングの基礎理論とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/5 | 塗膜の濡れ・付着・密着コントロールとトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/6 | 無機ナノ粒子の粒子径、形状制御と表面処理、分散性向上 | オンライン | |
| 2025/6/6 | 無機ナノ粒子の総合知識 | オンライン | |
| 2025/6/10 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/6/11 | 加飾技術の環境負荷低減に向けた開発と自動車への応用 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |