技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。
スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つがゆえである。
しかしながら、同時にこのスパッタ粒子の大きなエネルギーが異物の発生を引き起こしたり、薄膜に大きな応力を残留させたりするという短所をも生じさせることになる。応力の残留と、それにともなう付着力の低下はプロセスやデバイスの信頼性を保証する上での大きな問題であり、スパッタリング生産において必ず遭遇する問題であるともいえる。
本講演では、スパッタリング法の技術基盤を学んでいくことにより、生産あるいは技術開発の現場において遭遇するいろいろなトラブルに対応する力を身につけていくことを目標とし、スパッタリングプロセスの特徴とスパッタリングプロセスにより得られる薄膜物性の特徴を解説する。生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2023/4/13 | 塗料・塗膜における不良・欠陥の発生メカニズムとその対策 | オンライン | |
2023/4/14 | シランカップリング剤を効果的に使いこなすためのポイント | オンライン | |
2023/4/17 | 表面分析・接着分析をしっかり学ぶ2日間講座 | オンライン | |
2023/4/17 | 半導体めっきの基礎とめっき技術の最新技術動向 | オンライン | |
2023/4/17 | 表面・界面の考え方と分析の基礎と実践応用 | オンライン | |
2023/4/18 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2023/4/18 | 副資材による機能性高分子の材料設計技術 | オンライン | |
2023/4/19 | フィラーの上手な使い方 | オンライン | |
2023/4/24 | プラスチック、フィルムにおける応力/ひずみ発生のメカニズムとその評価、応用 | オンライン | |
2023/4/24 | 光学薄膜技術の総合知識と最新動向 | オンライン | |
2023/4/25 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2023/4/25 | めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 | オンライン | |
2023/4/25 | シランカップリング剤の反応メカニズム、使い方、密着性や物性の評価 | オンライン | |
2023/4/26 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
2023/4/26 | エポキシ樹脂のフィルム化技術と物性制御、高機能化と応用展開 | オンライン | |
2023/4/27 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2023/4/27 | 環境対応型塗料と新技術へのアプローチ | オンライン | |
2023/4/27 | 表面張力・界面張力、関連する現象、時々見受けられるウソの説明と、自発的パターン形成による超撥水性表面の作製 | オンライン | |
2023/4/28 | 塗膜の濡れ・付着・密着コントロールとトラブル対策 | オンライン | |
2023/5/9 | エポキシ樹脂のフィルム化技術と物性制御、高機能化と応用展開 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |