技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。
スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つがゆえである。
しかしながら、同時にこのスパッタ粒子の大きなエネルギーが異物の発生を引き起こしたり、薄膜に大きな応力を残留させたりするという短所をも生じさせることになる。応力の残留と、それにともなう付着力の低下はプロセスやデバイスの信頼性を保証する上での大きな問題であり、スパッタリング生産において必ず遭遇する問題であるともいえる。
本講演では、スパッタリング法の技術基盤を学んでいくことにより、生産あるいは技術開発の現場において遭遇するいろいろなトラブルに対応する力を身につけていくことを目標とし、スパッタリングプロセスの特徴とスパッタリングプロセスにより得られる薄膜物性の特徴を解説する。生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。
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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/5/17 | 化粧品粉体の基礎と表面処理 | オンライン | |
2024/5/21 | ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術 | オンライン | |
2024/5/21 | ラミネート技術の基礎・トラブル対策とヒートシール技術のポイント | オンライン | |
2024/5/21 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/5/22 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
2024/5/24 | 基材表面への防曇性付与と持続性の向上 | オンライン | |
2024/5/24 | 塗膜の濡れ・付着・密着コントロールとトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/27 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/29 | ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術 | オンライン | |
2024/5/29 | 化粧品粉体の基礎と表面処理 | オンライン | |
2024/5/30 | めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 | オンライン | |
2024/5/30 | ガスバリア技術の基礎と活用動向およびウェットプロセスによるウルトラ・ハイバリア技術 | オンライン | |
2024/5/31 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 会場 | |
2024/6/3 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
2024/6/4 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/6/5 | 顔料の分散安定化と使いこなし術 | オンライン | |
2024/6/6 | めっき技術の基礎と品質トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
2024/6/6 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
2024/6/7 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解&最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン |
発行年月 | |
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2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |