技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、半導体製造における枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れについて可視化観察例等を流れの特徴と問題点を考察を踏まえながら解説いたします。
半導体洗浄に関わる基礎知識と手法について解説します。湿式の洗浄は、汚れを (1) 薬液や超音波などにより表面から引き剥がし、 (2) 「流れ」により運び去ること、によって行われます。即ち、洗浄の主要素の一つは、「流体 (液体) の動き」です。流れは難解に思われがちですが、流れを正面から捉えて、方法の理解、課題の発見、解明、解決と改善に結びつける方法を知れば、その効果は著しいはずです。
そこで本セミナーでは、予備知識として流れを含む「移動する現象」の基礎事項と法則から説明します。そして、流れの可視化実験の実演を通して、流れの見方を説明し、容器内の流れの様子を説明します。次に、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ、超音波を加えた時の流れについて可視化観察例と計算例を紹介し、流れの特徴と問題点を考察します。特に、実際の水の動き、その水流のもとで進行する化学反応、理想的な水の動きとは何か、それを簡便に創り出す方法、そして、困った時の考え方について詳述します。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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| 発行年月 | |
|---|---|
| 2021/11/12 | レジスト材料の基礎とプロセス最適化 |
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| 2021/3/30 | 経験/査察指摘/根拠文献・規制から導く洗浄・洗浄バリデーション:判断基準と実務ノウハウ |
| 2021/3/30 | 経験/査察指摘/根拠文献・規制から導く洗浄・洗浄バリデーション:判断基準と実務ノウハウ (製本版+ebook版) |
| 2020/7/17 | 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望 |
| 2019/7/19 | 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望 |
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2018/1/10 | SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント |
| 2014/10/31 | 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/10/31 | 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/12/15 | パワー半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/12/15 | パワー半導体 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/2/10 | 酸化物半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/10 | 酸化物半導体 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/6/15 | 半導体・液晶パネル製造装置9社 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/6/15 | 半導体・液晶パネル製造装置9社 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/4/15 | Intel 【米国特許版】 技術開発実態分析調査報告書 |
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| 2009/4/5 | 洗浄剤 技術開発実態分析調査報告書 |