技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/4/25 | 耐指紋・防汚性材料の設計、評価、応用、今後の展望 | オンライン | |
2024/4/25 | プラスチックフィルムの表面処理・改質技術と接着性の改善評価方法 | オンライン | |
2024/4/26 | 高屈折率材料の基礎と技術応用超高屈折率材料への分子設計 | オンライン | |
2024/4/26 | 塗布膜乾燥プロセスの解明・考察・本質の理解と塗布膜の設計、不良・欠陥対策への応用 | オンライン | |
2024/4/26 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場 |
2024/4/26 | 共押出多層フィルムの成形技術、押出安定化とトラブル対策 | オンライン | |
2024/4/30 | アノード酸化皮膜 (陽極酸化皮膜) の基礎と構造・特性制御および応用 | オンライン | |
2024/5/6 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2024/5/7 | 異種材料接着に向けた金属の表面処理技術と接着性の改善 | オンライン | |
2024/5/8 | 高分子の接着性改善と表面処理、界面の構造評価技術 | オンライン | |
2024/5/9 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2024/5/10 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
2024/5/21 | ラミネート技術の基礎・トラブル対策とヒートシール技術のポイント | オンライン | |
2024/5/22 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
2024/6/3 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
2024/6/20 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/6/20 | めっき技術/新めっき技術と半導体・エレクトロニクスデバイスへの応用・最新動向 | オンライン | |
2024/7/5 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/25 | 基礎から理解するポリイミドの高性能化・機能化設計 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |