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XPS/ESCA (X線光電子分光法) による分析技術の必須知識と活用方法

XPS/ESCA (X線光電子分光法) による分析技術の必須知識と活用方法

東京都 開催 会場 開催
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概要

本セミナーでは、XPS (ESCA) の得手不得手や、最新の分析技術や問題解決例、XPSの更なる活用方法を解説いたします。

開催日

  • 2013年2月27日(水) 13時00分 ～ 16時30分

修得知識

  • XPS (ESCA) の基礎
    • 原理
    • 特徴
    • ハードウェアー
    • データ解釈
  • 最新の分析技術や問題解決例

プログラム

　剥離や変色などの問題解決に用いられる表面分析法の中でも、最も使用頻度の高い手法はXPS (ESCA) である。
　この講習では、XPS法の得手不得手の理解を深め、最新の分析技術や問題解決例を解説し、XPSの更なる活用方法を紹介する。

  1. XPSの基礎
    1. XPSの原理と特徴
      1. なぜ表面分析や極薄膜の分析が可能か?
      2. 表面分析法としてのXPSの特徴
      3. 他の手法と比較した特長
    2. ハードウェアー
      1. X線源
      2. 電子分光器
      3. イオン銃
      4. 観察系と試料処理
      5. 真空系とその他
  2. XPS分析条件と適切なデータ処理
    1. 適切な分析条件
      1. マイクロ分析条件
      2. イオンエッチングを併用した深さ方向分析
      3. マッピング測定
      4. その他のXPS計測モード
    2. データ処理
      1. 基本的なデータ処理 (ピークシフト、平滑化、定量計算など)
      2. 結合状態の推定 (カーブフィット処理)
      3. その他のデータ処理
  3. 最新の測定技術
    1. マイクロ分析など装置の進歩
      1. マイクロ分析の方式と分析箇所の特定方法
      2. マイクロ分析の現状と解析事例
    2. 装置の自動化
      1. 自動化の現状
      2. 自動分析を用いた解析事例
    3. クラスタービームを活用した低損傷な深さ方向分析 (高分子材料)
      1. クラスターイオン銃のハードウェアー
      2. クラスタービームを用いたエッチングと従来法を比較
      3. クラスタービームの現状と解析事例
  4. XPS法のまとめ

  • 質疑応答・名刺交換
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講師

  • 星 孝弘 氏
    アルバック・ファイ(株) 営業技術室
    室長
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会場

連合会館

5F 502会議室

東京都 千代田区 神田駿河台三丁目2-11
連合会館の地図
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 39,900円 (税込)
複数名
: 31,000円 (税別) / 32,550円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名で参加の場合、1名につき 7,350円割引
  • 3名で参加の場合、1名につき 10,500円割引 (同一法人に限ります)
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