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薄膜応力の発生、緩和のメカニズムと応力の評価、制御手法

薄膜応力の発生、緩和のメカニズムと応力の評価、制御手法

~実務課題に役立つ膜応力の性質、測り方、制御に向けたポイント~
オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2026年4月16日〜26日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2026年4月16日まで承ります。

概要

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、薄膜応力の発生メカニズムについて基材や膜構造、成膜条件の影響について詳解いたします。

開催日

  • 2026年4月7日(火) 10時00分17時00分

修得知識

  • 薄膜の応力や剥離・破壊、機械特性に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
  • 薄膜/基板界面などの微視的構造の基礎知識
  • 薄膜応力の測定・制御に関する実践的な知識
  • 薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
  • 薄膜の応力と様々な剥離モードに応じた、材料設計の考え方

プログラム

 本講演では、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜に関して、膜応力の発生と緩和現象のメカニズムについて、基材や膜構造、成膜条件や評価測定時の影響などを詳しく紹介します。
 さらに、具体的な応力の測定法を含め、応力と密着性改善や膜特性制御との関係を理解し、様々な実用上の膜応力の課題に幅広く対処していただけるよう、基礎知識から具体的な対処方法までを網羅する内容です。教科書や論文誌からでは理解しにくい実践的な知識や問題解決のヒントが得られるよう直感的にわかりやすく解説します。
 初学者、中堅技術者で、薄膜の応力と密着性や膜特性の制御に関して、現在膜応力に関する課題を抱えられている方、これから成膜や膜応力制御の技術を習得して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。

  1. 膜応力がどういうものかを詳しく解説
    • Introduction 膜応力を制御したいと思う状況と問題解決の方法
      1. 膜応力とは
      2. 膜応力と歪みと変形の関係の基本知識
      3. 膜応力の発生する原因
      4. 薄膜が形成する過程での膜応力発生のメカニズム
        1. 基板の膜応力への影響
        2. 膜の微視的構造と膜応力との関係
        3. ピーニング効果とは
      5. 熱による膜応力発生のメカニズム
      6. 膜応力の緩和メカニズム
      7. 成膜条件によって膜応力はどのように変化するか?
      8. 評価・測定時に薄膜に生じる応力
      9. 知っておくべき膜応力の性質
        1. パターンニングされた膜応力はどうなるっているのか?
        2. 多層膜における膜応力の特徴
  2. 膜応力の測り方を詳しく解説
    • Introduction なぜ薄膜の分析評価で苦労することが多いのか?
      1. 膜の何が変わり、何を測るか?
      2. 評価方法の詳細と測定上の注意点
        1. X線回折による構造因子からの測定
        2. ラマン分光による光学的特性からの測定
        3. 基板の曲率変化を測るマクロな形態からの測定
        4. FIB (Focused ion beam) を用いた画像からの測定
  3. 密着性や膜特性に関わる膜応力制御の考え方と手法を詳しく解説!
    • Introduction 膜剥離・破壊と力の加わり方の関係から考える問題の解決方法
      1. 薄膜の密着力の実体はなにか?
      2. 弾性歪みエネルギーと膜応力・密着性との関係
      3. 膜応力の低減と密着性改善への考え方
      4. 様々な膜特性・性能への膜応力の影響
      5. 薄膜の耐熱性や、応力誘起による物質拡散に関わる問題解決の具体例
  4. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 岩村 栄治
    ペルノックス 株式会社 開発センター
    センター長

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

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  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
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  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

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  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
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    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

アーカイブ配信セミナーをご希望の場合

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2026年4月16日〜26日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。

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2026/4/10 蒸着法による機能性有機分子の薄膜化技術 オンライン
2026/4/16 薄膜応力の発生、緩和のメカニズムと応力の評価、制御手法 オンライン
2026/4/21 スパッタリング法の総合知識と薄膜の特性制御・改善、品質トラブルへの対策 オンライン
2026/4/21 X線による残留応力測定の基礎と最近の動向 オンライン
2026/4/22 プラスチック成形品、フィルムにおける残留応力・歪み発生メカニズムとアニール処理による対策 オンライン
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