技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、スパッタリング法の理解に欠かせない真空・プラズマから、各種スパッタリング法の特徴、薄膜の評価、異常放電・薄膜の剥離などのトラブルと対策、シミュレーション手法や最新動向まで解説いたします。
スパッタリング技術を上手く扱うために理解すべき知識・技術を、装置・プロセスの開発に多くの経験を有する講師が分かりやすく解説いたします。
スパッタリング法は半導体からディスプレイデバイス、電子デバイスまで広く工業的に普及している技術である。薄膜形成方法の中でも、ソース材料 (ターゲット) が固体であり、有毒ガスを使用しないため、除害装置などを必要とせず、比較的簡便に取り扱うことができる。しかしながら、スパッタリングは、真空、プラズマ、電磁場、原子分子の衝突・拡散、化学反応など、いずれも目に見えない現象により成り立っているため、設備およびプロセスの設計や制御の根拠となるものを掴みにくく、経験や実験的アプローチに頼らざるを得ないという側面も持っている。
本講演では、スパッタリング技術の基礎となる真空とプラズマについて詳細に解説する。実際の工程で生じることが多い不具合の事例として、異常放電、密着力不足、残留応力等を取り上げ、その原因と対策について述べる。今後ますます重要になるであろうシミュレーション手法や、最近の技術動向などについても紹介する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/5/9 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2024/5/10 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
2024/5/21 | プラズマプロセスにおける基礎と半導体微細加工へのプラズマによるエッチングプロセス | オンライン | |
2024/5/21 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/5/27 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/31 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
2024/6/4 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/6/5 | プラズマCVDによるナノ・微粒子材料の作製技術とプロセスモニタリング | オンライン | |
2024/6/6 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
2024/6/20 | プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術 | オンライン | |
2024/6/25 | 界面・表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識と密着性の改善技術と評価方法 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/6/25 | 分子プレカーサー法による機能性薄膜の形成と応用事例 | オンライン | |
2024/6/27 | 大気圧プラズマの基礎知識 | オンライン | |
2024/6/28 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/6/28 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/3 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/12 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |