第1部 省エネ・CO2削減を狙った気流設計と空調システム構築及びその制御

(2022年7月15日 10:00〜12:00)

　半導体・液晶やそれらを製造するための装置・機器の生産が行われる産業用クリーンルームは、電子デバイスの需要増に伴い、国内外で施設・設備拡大が増えている。一方、特に高清浄度が必要となる、実際に製品を製造する空間はミニエンバイロンメントとして製造装置内に組み込まれ、クリーンルーム内の空間とは切り離されることから、クリーンルームに求められる清浄度は低くなってきている。また、昨今のカーボンニュートラルの推進に伴い、クリーンルームにもさらなる省エネが求められ、局所的な清浄化と効率の良い運用が求められている。
　本講座では、クリーンルームの省エネ・省資源化に貢献するため、演者らが開発してきたクリーン空調システムやその制御システムの考え方を述べるとともに、実際の施設で得られた省エネ性能やデータの一部を紹介し、その効果を説明する。

• 産業系クリーンルームにおける省エネ・省資源型クリーン空調の構成
• 省エネ・省資源型クリーン空調の気流形成の考え方
• アンビエントクリーン空調の省エネ運用の検討事例
• クリーンルームにおける清浄度のセンシング
• クリーンルームにおける作業者のセンシング
• 作業者・清浄度情報に基づくクリーン空調制御の考え方
• 環境センサを活用したクリーン空調の制御事例と効果
• 置換換気を応用したクリーン空調
• 質疑応答

第2部 クリーンルームを有する工場での省エネ手法~主に医薬品製造工場を事例として

(2022年7月15日 12:45〜14:45)

　クリーンルームは、その厳しい環境を維持するために24時間365日稼働しているため、省エネに逆行する設備となっていますが、逆に言えば、少し工夫を行えば、積み重ね効果が大きい設備とも言えます。製造設備のエンジニアリング部門は在っても、省エネ・CN (カーボンニュートラル) のスキルを有する部門を持っていない工場・製造現場等は珍しくありません。どの専門分野でも言えることですが、問題等が発生したとき、改善しなければいけない事象が発生したときに、専門外の人にとっては大きな問題でも、その道のプロであれば些細なものであることが有ります。
　特にクリーンルームの省エネは様々な制約がある中で行われ、製造現場と省エネ対象となる設備両方の知識が求められます。その道のプロでは無い方でも、最低限の省エネ手法の知識を得られれば、製造現場・クリーンルームの環境は維持しつつ、省エネ・CNの実現の一助になるのではと考えます。
　本セミナーではクリーンルームを構成している設備のうち、空調設備を中心に、実際の現場の写真・イラスト・書式をまじえて解説させていただきます。

1. 省エネの基礎
2. クリーンルームは省エネに反した施設
3. クリーンルームを構築しているもの
4. クリーンルームの環境維持のために必要な要件のおさらい
5. クリーンルームの環境を維持しながらの省エネ手法
6. 自動制御
7. 更衣基準の見直し
8. 省エネ機器の紹介、排熱利用
9. ユーティリティ
10. 建物、設備
11. その他
• 質疑応答

第3部 局所クリーン化技術を用いたクリーンルームの省エネ・CO2削減

(2022年7月15日 15:00〜16:30)

　昨今、省エネ・CO2削減が全世界・地球的規模のテーマとして大きく取り上げられています。1990年代からオゾンホールの問題・異常気象の問題が広く提起され、省エネ化・CO2削減が大きな課題となり始めました。ものづくり環境としてクリーンルーム環境は必須とも言えるのですが、「金食い虫」「エネルギー食い虫」とも揶揄され、多くの業種・業容でクリーン環境のニーズが大きくなると共に、局所クリーン環境の導入が積極的に進んで来ました。
　今回は、省エネ・CO2削減につなげるための、局所クリーン化技術とは、どんなものなのかに焦点を絞り考えます。省エネ・CO2削減につながる効果的な局所クリーン環境の構築には「気流の管理」は、避けて通ることができません。この「気流管理のあり方」をベースにテーマ展開を進め皆さんと一緒に考えて参ります。

1. 局所クリーン化の基礎知識
   1. 今なぜ?局所クリーン化なのか?局所クリーンシステムの効果と課題
   2. 局所クリーン化技術展開の目的と歴史的背景
   3. 局所クリーン化とは、定義の確認
   4. 局所クリーン環境の形態:大空間と狭空間 など等
2. 製造ライン局所クリーン化導入と気流評価事例
   1. セル組立ラインの局所クリーン化形成事例
   2. 局所クリーン組立環境構築評価:気流可視化装置の活用による構築と評価
   3. 局所クリーン環境の評価事例:加工点への気流の確保
   4. FFU取付け時の構築~評価:アイリットの活用
   5. 局所クリーン環境構築時の失敗事例
   6. FFU取付け状態評価事例 など等
3. 他社における局所クリーン化導入~構築事例紹介:活用化への案内含む
4. 局所クリーン化に取組むために重要な項目
   1. 見える化機器の活用の重要性
   2. 常時監視の必要性
   3. 局所クリーン化に取組むためのまとめ ~ POINT
• 質疑応答