技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2026年1月14日〜29日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2026年1月14日まで承ります。
本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料は、ポジ型、ネガ型、化学増幅型、非化学増幅型などとして分類され、i線、G線、KrF、ArF、EB、およびEUV露光用レジスト材料として活用されている。高感度化をすること、すなわち、露光量を少なくさせることは、短時間でパタンニング処理を可能にし、生産性を上げることを可能にする。しかし、それだけではなく、レジストパタンの解像性を上昇させ、レジストパタンのラフネスの改善にも大きく貢献することになる。次世代レジストシステムとして、EUV露光システムが実用化段階に入っているが、最も研究開発が必要とされているのは、EUV用のレジスト材料の開発である。現在のところ、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるとされるレジスト材料は未だない。新しいレジスト材料の開発は、様々なレジスト特性を評価検討する必要があるが、まずは少ない露光量でパタンニングが可能であること、すなわち高感度であることが最優先である。実際、EUV用レジスト材料においても、より高感度なレジスト材料の開発が急務とされている。
本セミナーにおいて、露光システムに対応したレジスト材料の分子設計指針から、最新のEUV用レジスト材料の開発動向から、次世代の分子設計指針まで解説する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
ライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/10/1 | バリアフィルム作製の基礎とガス透過性メカニズム・評価技術および最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/10/1 | プラスチック・ゴム成形品におけるブリードアウト・ブルームの発生メカニズムと原因分析・防止対策 | オンライン | |
| 2026/10/5 | ポリマーの高屈折率化技術 | オンライン | |
| 2026/10/5 | 高分子複合材料の強度と耐衝撃性 | オンライン | |
| 2026/10/6 | エポキシ樹脂用硬化剤の種類、反応機構、選び方、使い方 | オンライン | |
| 2026/10/6 | 高分子結晶及び結晶化プロセスの基礎、制御と結晶構造の解析手法 | オンライン | |
| 2026/10/6 | 高分子材料の相溶性評価に活かす溶解度パラメータ (SP・HSP) の基礎と実践 | オンライン | |
| 2026/10/6 | 安定性・凝集抑制を目指したタンパク質溶液製剤の合理的設計・添加剤選定と構造安定性の評価 | オンライン | |
| 2026/10/7 | アコースティックエミッション計測の基礎、計測・評価手法と応用事例 | オンライン | |
| 2026/10/8 | ポリウレタンの原料・反応・物性制御とフォーム・塗料・複合材料分野での新技術 | オンライン | |
| 2026/10/9 | 押出成形のトラブル対策 Q&A講座 | オンライン | |
| 2026/10/13 | レジスト材料開発における分子設計・合成・評価の実践技術 | オンライン | |
| 2026/10/13 | UV硬化の基礎と硬化不良対策および影部の硬化 | 東京都 | 会場 |
| 2026/10/14 | トライボロジーの基礎とプラスチック材料の摩擦摩耗特性向上 | オンライン | |
| 2026/10/14 | 低誘電樹脂の開発動向と他特性との両立 | オンライン | |
| 2026/10/14 | 5G/6G高速通信・ディスプレイ基板材料の開発動向 | オンライン | |
| 2026/10/15 | EU包装/包装廃棄物規則 (PPWR) の重要事項・最新動向と国内企業に求められる実務対応 | オンライン | |
| 2026/10/16 | シランカップリング剤の分析技術 | オンライン | |
| 2026/10/16 | 結晶性高分子の強度を支配するタイ分子の基礎理解と材料の高強度化・高耐久化設計 | オンライン | |
| 2026/10/19 | ポリマーへのフィラーのコンパウンド技術およびナノコンポジット化技術の基礎と応用 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2018/3/19 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2018/3/18 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2017/7/31 | 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集 |
| 2017/7/31 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 |
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |