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PFAS規制の動向と半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性

PFAS規制の動向と半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性

~半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況~
オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2025年10月17日〜27日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2025年10月17日まで承ります。

概要

本セミナーでは、半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物 (PFAS) について取り上げ、EUの規制案の検討状況を中心に海外・国内のPFAS規制の最新動向、現在の対応状況、代替の可能性、今後の展開について詳解いたします。

開催日

  • 2025年10月7日(火) 13時00分16時30分

修得知識

  • PFASとは何か
  • 国内外のPFAS規制条約法令の動向
  • PFASが用いられる半導体工程の詳細
  • 半導体PFAS代替の動向
  • 半導体工場の排水処理システム

プログラム

 PFASについてはニュースでもしばしば取り上げられるようになり、一般の関心も高くなっている。POPs条約で規定されている一部の有害なPFASについては日本国内では化学物質審査規制法 (化審法)により規制されている。一方、EUではREACH規則による全面的な使用制限が検討されており、今後の動向に注目が集まっている。
 本講ではPFAS規制の海外国内の動向、特にEUの包括規制案の動向について解説する。また、PFASは様々な用途に用いられ、半導体製造工程でもその応用は多岐にわたっている。PFASが用いられていると考えられる工程の内容とその代替可能性、排水処理方法の現状等について解説する。

  1. PFASとは?
    1. PFASの定義
    2. 国内・海外のPFAS関連ニュース
    3. 製品ライフサイクルとPFASの人体・環境への影響
  2. PFAS規制の動向
    1. ストックホルム条約
    2. 国内の規制
      • 化学物質審査規制法 (化審法)
      • 水道法
    3. 欧州の規制
      • REACHの包括規制案の状況
    4. 米国の規制
  3. PFASの分析技術・処理技術
    1. 分析方法
      • LC-MS/MS
      • GC-MS/MS
    2. 総量分析
    3. 焼却処理
    4. その他の処理方法
  4. 半導体産業への影響
    1. 半導体とは?
    2. 半導体製造プロセス
    3. 3Mショック
    4. PFAS使用工程
    5. ドライエッチング〜チラーの冷媒、エッチングガス
    6. リソグラフィー
      • フォトレジスト・反射防止膜・現像液・現像リンス液の添加剤
      • 光酸発生剤 (PAG)
      • ペリクル
    7. ウエットエッチング〜エッチング液の添加剤
    8. 超純水配管
    9. 後工程部材
      • モールド材
      • DAF
      • パッケージ基板材料
    10. 半導体工場の排水・廃液処理システム
    11. 排水管理基準
    12. 半導体材料・部材メーカーの対応状況
    13. 半導体企業の対応状況
    • 質疑応答

講師

  • 礒部 晶
    株式会社 ISTL
    代表取締役

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 160,000円(税別) / 176,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 190,000円(税別) / 209,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

  • 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

ライブ配信セミナーをご希望の場合

  • セミナー資料は、郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

アーカイブ配信セミナーをご希望の場合

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2025年10月17日〜27日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。

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