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ナノインプリントのメカニズムと欠陥対策、半導体デバイスへの適用

ナノインプリントのメカニズムと欠陥対策、半導体デバイスへの適用

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、熱・光ナノインプリントによる微細成型に関するメカニズムの基礎から解説いたします。
また、使用する樹脂やモールドについての材料技術、プロセス・材料の設計技術、離型欠陥対策技術、装置技術について、三次元構造の作製技術などの多様なシーズについて解説いたします。
さらに、最新の動向に触れながら、光学素子、ディスプレイ、電子デバイス、LED、太陽電池、拡張現実などへの製品応用技術について紹介いたします。

開催日

  • 2024年10月31日(木) 10時30分 16時15分

修得知識

  • ナノインプリントの半導体応用
  • フォトレジスト開発従事者からみたリソグラフィおよびEUVレジスト開発の歴史と課題

プログラム

第1部 熱・光ナノインプリント法による微細加工と半導体デバイスへの適用

(2024年10月31日 10:30〜14:30)※途中、お昼休憩含む

  1. ナノインプリントの半導体応用
    1. ナノインプリントとは
    2. ナノインプリントの特徴と応用領域
  2. 熱ナノインプリント,ダイレクトナノインプリントのメカニズムと欠陥対策
    1. 熱、ダイレクトナノインプリントの原理
    2. 形状
      • 膜厚依存性と欠陥
      • 高アスペクト比構造
      • レンズ構造における欠陥例とその解消
    3. 高圧プレス下での欠陥と面内均一性
    4. 分レベルの挙動と限界解像性
  3. UV (光) ナノインプリントのメカニズムと欠陥対策
    1. レジスト充填プロセスとバブル欠陥と対策
    2. UV照射プロセスと回折・干渉による欠陥と対策
    3. UV硬化プロセスと欠陥と対策
    4. 分子レベルの流動性と硬化特性
  4. 離型の原理と欠陥対策
    1. 破壊力学による離型の原理
    2. 化学的手法による欠陥対策
    3. 機械的手法による欠陥対策
    4. AR/VR用傾斜回折格子における離型欠陥の発生とその抑制
    5. 離型の分子レベルの挙動
  5. 今後の展開と期待
    1. 半導体チップレット技術 (再配線プロセス) への展開
    2. フラットレンズ、AR/VRグラスへの応用
    3. カーボンニュートラルへの取り組み
    4. 人工知能利用によるプロセス・材料設計
    • 質疑応答

第2部 EUVレジストおよびナノインプリントレジストの開発と今後の展望

(2024年10月31日 14:45〜16:15)

 我々の生活に不可欠な先端デバイスの開発は止まることなく進んでおり、そのためにはリソグラフィの微細化が非常に重要な因子である。その実現のために不可欠なフォトレジスト開発、特にはEUVレジストの開発と歴史を理解することは、今後のリソグラフィ発展に重要な意味を持つ。加えて、別オプションとして長年開発されてきたナノインプリントリソグラフィの半導体分野への適用も日の目をみようとしている。これら昨今話題の半導体を理解するうえでの一助となると期待する。

  1. 昨今のプレスリリースから紐解く
    1. ナノインプリントリソグラフィの半導体分野への適用状況
    2. 富士フイルム、キヤノン、キオクシア、DNP
  2. 私たちの世の中を取り巻く環境
    1. エッヂAI、半導体に関する国プロジェクト (Rapidus/LSTC) 解説、など
    2. 富士フイルムのエレクトロニクスマテリアルズへの取り組み
  3. リソグラフィの歴史
    1. パターン微細化と露光波長、次世代リソグラフィの歴史
  4. EUVレジスト 課題と解決の例
    1. EUVリソグラフィの必要性と難しさ
  5. ナノインプリントレジスト
    1. なぜに、ナノインプリント?どこまできた?
    • 質疑応答

講師

  • 平井 義彦
    大阪府立大学
    名誉教授
  • 藤森 亨
    富士フイルム株式会社 エレクトロニクスマテリアルズ研究所
    シニアエキスパート

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

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