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最新CMP技術 徹底解説

最新CMP技術 徹底解説

~装置、材料、プロセスから研磨モデル、最新動向まで~
オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年10月24日〜31日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2024年10月29日まで承ります。

概要

本セミナーでは、半導体デバイス製造における様々なCMP工程の特徴を紹介し、それに用いられる装置、スラリー、パッドの詳細を解説する。
さらに、CMPによる材料除去のメカニズムについて様々なモデルを紹介し、そこからパッドやスラリーのあるべき姿を考察する。

開催日

  • 2024年10月23日(水) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • CMPに関わる技術者
  • CMPに関わる営業マーケティング担当者

修得知識

  • CMP装置、材料、プロセスの基礎
  • CMP関連の開発や新規事業計画に役立つ知識

プログラム

 CMPという当初ゲテモノ扱いされていたプロセスが半導体製造に導入されて四半世紀以上が経過した。いまではなくてはならないキープロセスとなっており、その工程数、応用範囲はますます広がっている。
 本セミナーでは、最新のFinFET等のトランジスタ工程や3D NANDに用いられる工程を初めとして、適用工程毎の特徴を紹介し、用いられる装置、材料について解説する。さらに、平坦化のメカニズムや材料除去のメカニズムについてもモデルを紹介する。

  1. 最新デバイス動向とCMP
    1. AIとIoT
    2. トランジスタ構造の変遷
    3. メモリデバイスの分類と動向
    4. パッケージ技術への応用
    5. 最近のCMP関連学会における注目トピックス
  2. CMP装置
    1. 半導体の製造方法とCMPの歴史
    2. CMP装置の構成
    3. ヘッド構造
    4. 終点検出技術
    5. APC
  3. CMPによる平坦化
    1. CMPによる平坦化工程の分類
    2. 平坦化のメカニズム
  4. CMP消耗材料
    1. 各種スラリーの基礎
    2. 砥粒の変遷
    3. 添加剤の役割
    4. スラリーの評価方法
    5. 研磨パッドの基礎
    6. 研磨パッドの評価方法
    7. コンディショナーの役割
  5. CMPの応用
    1. CuCMPの詳細
    2. 最新のトランジスタCMP工程
    3. 各種基板CMP
    4. CMPのプロセス評価方法
  6. CMPの材料除去メカニズム
    1. 研磨メカニズムモデルの歴史
    2. 新しいモデル~Feret径モデル
    3. Feret径モデルの数値検証
    4. Feret径モデルに基づく開発のヒント
  7. まとめ

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
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    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

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  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
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  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2024年10月24日〜31日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
本セミナーは終了いたしました。

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