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研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工

研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工

～研磨のプロセスでは何が起こっているのか / パッド、スラリー、コンディショナの作用機構の解明と研磨メカニズムの理解～
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概要

本セミナーでは、CMP等の研磨プロセスにおいて副資材であるパッド、スラリー、コンディショナに焦点をあてて解説いたします。

開催日

  • 2024年5月31日(金) 13時30分 ～ 17時00分

プログラム

　研磨プロセスでは副資材としてパッド、スラリー、コンディショナが用いられます。それらを設計するには、当然のことながら、それらの作用機構を理解しておくことが望まれます。本セミナーでは、以下の3つの項目について事例 (実験結果) を交えながら解説します。

  • パッドの役割:パッドのアスペリティが研磨 (特に研磨速度) にどのような影響を及ぼすか、をお話しします。さらに、そのアスペリティを適切に評価できる手法についても解説します。
  • コンディショナの役割:パッドのアスペリティを適切に作る副資材がコンディショナです。コンディショナにも様々なタイプがありますが、4種類のコンディショナを例にしながら、それらの作用機構を解説します。
  • スラリーの役割:研磨プロセスではパッドとウェーハの接触界面へ適切にスラリーが運搬され (流れ込み) 、それに含まれる微細粒子 によって研磨が進行します。そこでは、そのスラリーの運搬はどのように行われているのかについて解説します。それをマクロスケールで見た場合、ミクロスケールで見た場合を比較して、どのような現象が接触界面で行われているのかを解説します。
    　また、これらの知見に基づいて、見える化技術の応用事例として、AI導入研磨装置の開発や、定盤と研磨ヘッドの負荷電流のみの情報から、リアルタイムで研磨レートと摩擦係数を同時予測する手法についてもご紹介します。 さらに、より高い研磨速度を確保するために開発してきたアシスト加工、とりわけオゾンガスナノバブルスラリー手法についても紹介します。

  1. 自己紹介
  2. 研磨プロセスの概要
  3. パッド
    • パッドアスペリティの測定・評価手法
    • パッドアスペリティと研磨レートの関係
    • 注意事項
  4. コンディショナ
    • コンディショナの概要と測定・評価手法
    • 砥粒配列の影響
    • 砥粒形状の影響
    • コンディショナの作用機構
  5. スラリー
    • 研磨レートの定式化
    • スラリー中における砥粒の流れ場解析
    • 解析結果と研磨レートの関係
    • 定式化に向けて
    • 動的接触観察によるスラリー流れ場
    • 砥粒接触位置の推定
    • 砥粒の移動速度と接触点の動き
    • 研磨レートとの対応関係
  6. 見える化技術の応用事例
    • 研磨メカニズム理解の終着点
    • 学習プロセスを導入した知能研磨システムの構築
    • リアルタイム予測に向けて
  7. アシスト加工
    • オゾンガスナノバブルスラリー手法
    • 遊星アシスト手法
    • 超音波アシスト手法
  8. おわりに
    • 質疑応答
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講師

  • 畝田 道雄 氏
    金沢工業大学 工学部 機械工学科
    教授
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 32,400円 (税別) / 35,640円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
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