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スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策

スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策

~剥離の発生メカニズム / 密着性、品質信頼性を安定させるポイントを詳解~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説いたします。

開催日

  • 2024年5月27日(月) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • スパッタリング・成膜に関連する技術者
    • エネルギー分野
      • 反射防止膜保護膜
      • 透過膜太陽電池
    • 光学分野
      • 増透膜
      • 反射防止膜
      • 偏光膜
      • 保護膜
      • 赤外透過膜
      • 赤外線フィルター
      • 紫外線フィルター
    • ディスプレイ
      • 絶縁膜
      • 透明電極
      • 発光膜
    • 表面処理
      • 表面硬化膜
      • 固体潤滑膜 など
  • スパッタリング・成膜で課題を抱えている方

修得知識

  • スパッタリング法の基礎
  • スパッタリング法の物理現象と評価・分析技術
  • スパッタリング薄膜の特性を安定化させる方法
  • スパッタリング薄膜の密着性・信頼性・トラブル対策

プログラム

 スパッタリング法は、半導体や電子部材、金属製品、建材など、様々な用途で用いられる薄膜形成技術で、産業における重要性は年々高まっています。
 本講座では、スパッタリング法の、評価・分析方法、品質特性の改善方法、密着性・信頼性の改善方法についての、実務上の重要ポイントを具体的に解説します。スパッタリング薄膜の技術的な課題を解決したい方、品質向上を図りたい方に大変お勧めです。

  1. スパッタリング法の物理現象と評価・分析技術
    1. 薄膜技術の基本
    2. 物理現象を把握することの重要性
    3. スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
    4. 膜厚・形状の測定、特性の評価、結晶構造評価、元素・状態分析
    5. 機械的性質・密着性評価
  2. スパッタリング薄膜の特性安定化
    1. 特性実現と特性安定化
    2. 特性と制御パラメータの間にあるものを理解する
    3. プロセスのばらつき・変動要因を理解する
    4. プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
    5. スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
  3. スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善とトラブル対策
    1. 薄膜の密着と剥離のメカニズム
    2. 密着性改善・安定化のための具体的な手法
    3. 薄膜の信頼性の問題と対策
    4. スパッタリング薄膜の欠陥モード
    5. スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
    6. ピンホール・付着異物の原因究明と対策
    • 質疑応答

講師

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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