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半導体デバイスで良品を作るためのクリーン化技術

ミニマルファブの第一人者が語る、局所クリーン化技術、その要点

半導体デバイスで良品を作るためのクリーン化技術

~汚染とデバイス特性の関係、伝統的クリーン化技術と局所クリーン化技術、ミニマルファブ技術~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、汚染物質と微粒子がデバイス性能に与える影響を明らかにし、そのために必要なテクノロジーを解説いたします。

開催日

  • 2023年7月21日(金) 10時30分 16時30分

プログラム

 クリーン化と一言で言っているが、実際には、直径0.1nmの汚染原子と微粒子と呼ばれる直径0.1μmレベル (10の9乗個の原子集団) は峻別して捉え、それぞれデバイス性能とどのような関係があるのかを明快に理解し、それに対する適切な対策をとらなければならない。
 本講演では、汚染物質と微粒子がデバイス性能に与える影響を明らかにし、そのために必要なテクノロジーを解説する。
 本講演内容を把握することで、クリーン化技術全体が理解でき、現場対策だけでなく、プロセス技術者や広く半導体に関連する業務の基礎素養として、役立つ内容となっている。

  1. はじめに 〜半導体におけるクリーン度の物理〜
  2. デバイス性能に影響を及ぼす汚染とその実態
    1. 原子レベル汚染物質の解説 (イールド劣化要因、ファブ内ウェハへのダメージ)
      • ボロン
      • リン
      • 重金属
      • ナトリウム
      • 塩素
      • アンモニア
      • 炭素
      • 酸素
    2. 微粒子の解説
      1. 大気中浮遊微粒子
      2. 装置内発生コンタミ
  3. クリーン化技術
    1. クリーンルーム技術
      • 発塵源としての人
      • 発塵を抑えるクリーンスーツ
      • 発塵を抑えるクリーンルーム技術
      • 発塵を抑える人動作
    2. 局所クリーン化技術
      1. 垂れ壁方式
      2. 200mmファブ、300mmファブでの局所クリーン化
    3. ウェハクリーン化技術
      1. ウェハ洗浄技術
      2. ウォーターマークと乾燥技術
      3. 溶存酸素抑制技術
    4. ミニマルファブ技術
      1. ミニマルファブの概念と概要
      2. ミニマルファブで開発された、クリーンルームを不要とする局所クリーン化技術
      3. ミニマルファブでのクリーン度の性能
      4. ミニマルファブで進化したクリーン化技術
    • 質疑応答

講師

  • 原 史朗
    国立研究開発法人 産業技術総合研究所 デバイス技術研究部門
    首席研究員

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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