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原 史朗

所属

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
デバイス技術研究部門

役職

首席研究員

学位

工学博士

専門

  • 表面界面
  • クリーン化技術
  • 生産技術

経歴

  • 一般社団法人ミニマルファブ推進機構 推進部長 兼 ファブシステム研究会 代表
  • 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 デバイス技術研究部門 首席研究員
  • 株式会社 Hundred Semiconductors 取締役 CTO
  • 工学博士
  • 1993年 電子技術総合研究所 入所
  • 2014年4月 独立行政法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門・ミニマルシステムグループ長

早稲田大学理工学部助手、理化学研究所基礎科学特別研究員を経て、1993年、電子技術総合研究所入所。
現在、国立研究開発法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門・首席研究員兼ミニマルシステムグループ長。ショットキーダイオードの特性ばらつきの根源を追い求め、その原因究明のために、局所クリーン化リサーチシステムを開発。
2007年に、投資額を1/1,000にするリスク分散型半導体生産システム・ミニマルファブ構想を創出。局所クリーン化技術を応用したミニマル搬送システムの開発に着手。
これをコアテクノロジーとして、ミニマルファブの開発をおよそ150社と推進する。
2012年度より3年間、ミニマルファブ開発を国家プロジェクト化し、プロジェクトリーダーを務めた。
現在、一般社団法人ミニマルファブ推進機構を設立し、その傘下のファブシステム研究会の代表として、ミニマルファブの産業化を推進している。
ミニマルファブをビジネスとして推進する 株式会社 Hundred Semiconductorsを設立、取締役CTO。

学協会

  • 応用物理学会