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スパッタリング薄膜の基礎と応力抑制、付着力向上

スパッタリング薄膜の基礎と応力抑制、付着力向上

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、スパッタリングの基礎から、薄膜の堆積メカニズム、膜の構造と物性、トラブル対策について解説し、薄膜の生産、技術開発の現場で発生する諸問題への対応策について詳解いたします。

開催日

  • 2022年12月22日(木) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • スパッタリング・成膜に関連する技術者
    • エネルギー分野
      • 反射防止膜保護膜
      • 透過膜太陽電池
    • 光学分野
      • 増透膜
      • 反射防止膜
      • 偏光膜
      • 保護膜
      • 赤外透過膜
      • 赤外線フィルター
      • 紫外線フィルター
    • ディスプレイ
      • 絶縁膜
      • 透明電極
      • 発光膜
    • 表面処理
      • 表面硬化膜
      • 固体潤滑膜 など
  • スパッタリング・成膜で課題を抱えている方

修得知識

  • スパッタリング法の基礎
  • スパッタリング薄膜の内部応力
  • スパッタリングプロセスにおける異物発生と抑制

プログラム

 スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つためである。しかし、これは高い非平衡状態において薄膜が堆積されることを意味し、この高い非平衡性が薄膜の構造と物性が装置内の機材配置や微細な見えないプロセス条件変化に影響されるという厄介な問題を引き起こす。また、同時に、この非平衡性が薄膜に大きな応力を残留させるという短所をも生じさせることになる。これらの問題に対応することがスパッタリング法薄膜堆積を工業的に有為な薄膜堆積方法とする。
 本講演では、スパッタリング法により堆積された薄膜の生産あるいは技術開発の現場において遭遇する諸問題に、「スパッタリング法の技術基盤の理解にもとづき対応する力」を身につけていくことを目標とする。生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。

  1. スパッタリング法概観
    1. スパッタリング現象
    2. スパッタリング法による薄膜堆積法概観
  2. スパッタリング放電の工業的特徴
    1. 放電を理解するための基礎
    2. 直流マグネトロン放電の工業的特徴
    3. 高周波放電の工業的特徴
  3. スパッタリング薄膜堆積におけるスパッタリング現象
    1. スパッタリング率
    2. スパッタリングされた粒子の持つエネルギーと熱中性化
    3. スパッタリングされた粒子のターゲットへの再堆積
    4. 堆積された薄膜のエネルギー粒子による再スパッタリング
  4. スパッタリング法により作製された薄膜の構造と物性
    1. スパッタリング薄膜構造モデルと粒子の持つエネルギーの膜構造への影響
    2. 金属薄膜における基板温度・放電圧力の膜構造への影響
    3. 酸化物薄膜における基板温度・放電圧力の膜構造への影響
    4. 膜厚が数100 nm以下のである薄膜に対する構造モデルと物性
  5. スパッタリング薄膜の内部応力
    1. 内部応力とは
    2. 内部応力の発生メカニズム
    3. 内部応力の評価方法
    4. 薄膜の構造と内部応力
    5. スパタリング薄膜と内部応力の実例
    6. 応力の抑制手法
  6. スパッタリング薄膜における付着力の評価と向上
    1. 付着のメカニズム
    2. 付着力と全応力
    3. スパッタリング薄膜のはく離の機構
    4. 薄膜の付着力の評価方法
    5. 薄膜付着力の測定の実例
    6. 基板硬さの付着力測定結果への影響
    7. 付着力向上への指針
  7. まとめ
    1. 講習のまとめ
    • 質疑応答

講師

  • 草野 英二
    金沢工業大学 バイオ・化学部応用化学科 兼 高度材料科学研究開発センター
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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