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半導体洗浄技術の要点、工夫と効果の確かめ方

半導体洗浄技術の要点、工夫と効果の確かめ方

オンライン 開催 デモ付き

概要

本セミナーでは、半導体洗浄の基礎とポイント、評価について解説いたします。

開催日

  • 2022年12月7日(水) 10時30分16時30分

受講対象者

  • 半導体洗浄技術を構成している要素・要点を知りたい技術者
  • 半導体洗浄技術の課題を理解しているが、その解決方法を模索している技術者

修得知識

  • 先端材料の洗浄方法を構成する要素
  • 目的に合わせた「清浄」の定義
  • キレイにするための表面の取扱い
  • 流れの使い方・作り方
  • 生産プロセスに共通して潜在する工学現象 (流れ・気泡などの動きと設計)

プログラム

 半導体洗浄に初めて取組む技術者 (&その指導をする方) を想定しています。「半導体のキレイとは何か」を見直し、洗浄の基礎となる現象を理解して、実際の洗浄装置の水と気泡の動きを動画と計算結果で眺めると、要点が直感的に見えてきます。そして、しっかり洗うために境界層を崩す理由とそのための物理的・化学的取扱いを学びます。洗浄の要点が掴み切れない、うまく洗いたいが何となく心配、という方にもお薦めです。

  1. 半導体の洗浄の必要性
    • 汚染の由来と原因
  2. 洗浄の4要素
    • 「温度、時間、化学、力学」の意味と比重
    • 力学が土台
  3. 半導体洗浄に特有のこと
    • 洗浄により実現したい表面
  4. 半導体洗浄の基礎現象
    • 汚れを取り去る手法の原理
      • 脱離
      • 引き剥がし
      • 流れ
      • 拡散
    • 装置内の流れの分類
      • 完全混合
      • 押出流れ
      • 境界層
    • 身近な装置内の流れの例【動画】
  5. 洗浄機内の流れと反応
    1. 枚葉式洗浄機
      • 一枚ずつ洗う利点
      • ウエハ回転による水の動き、水膜の厚さ【動画】
      • ノズル・スィングの様々な役割【動画】
      • 数値計算で化学反応速度も正確にわかる
    2. バッチ式洗浄機
      • まとめて洗う利点と欠点
      • 水を直角に噴出させるノズル【動画】
      • 排出口を広げて水循環を抑制【動画】
      • ウエハ出入れ操作と表面汚れの動き【動画】
    3. 超音波洗浄
      • 表面を音波で揺する利点と欠点
      • 超音波による水と気泡の加速【動画】
  6. 洗浄効果の調べ方
    • 流れの可視化観察と数値計算 (トレーサーの軌跡)
    • 付着微粒子の除去率
    • 微粒子と金属汚染の測定法
  7. まとめ&高清浄面を得る方法
    • 要所に薬液を届け、汚染物を持ち去る。
    • そのためには、境界層を崩す。または、境界層内を素早く動かす。
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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