表面疎水化処理は、多くの製造分野産業で表面改質および分散制御といった基盤技術として用いられています。
　本講座では、半導体エレクトロニクス産業で多く用いられるシランカップリング剤であるHMDS (ヘキサメチルジシラザン) を中心に、付着、密着、濡れ、気泡、液滴、コーティング、微粒子分散の制御法やトラブル対策について多くの実験データに基づき説明します。また、処理装置の構成ノウハウ、表面エネルギーなどの様々な評価法について丁寧に説明します。また、実際のトラブル解析および技術相談にも応じます。

基本編: 表面疎水化処理と濡れ性

1. シランカップリング処理を最適化する
   1. シランカップリング反応 (加水分解と脱水縮合)
   2. 加水分解触媒とpH (シラノールの安定性)
   3. 処理温度 (沸点近くに最適温度が存在する)
   4. 処理時間 (短時間で処理効果がある)
   5. QCMによる反応モニタリング (単分子層反応のその場解析)
   6. AFMによる反応モニタリング (分子間相互作用力)
2. 効果的な処理装置を構成する
   1. 気化方式 (バブリング、減圧方式の比較)
   2. 脱水ベーク (吸着水の除去)
   3. コンダクタンス (処理系統の流量設計)
   4. 装置設計例 (大型パネル処理用)
3. 濡れ・付着性の基礎とシランカップリング処理
   1. 表面エネルギー (エネルギーで濡れ評価する)
   2. 濡れエネルギーWa (疎水化と親水化の評価方法)
   3. 拡張係数S、円モデル (界面のシーリング性)

実用編: 実際の現場でのシランカップリング処理のノウハウ

1. 塗膜の付着性をコントロールする
   1. レジストパターンの付着性 (ウェット耐性の改善)
   2. めっき膜の剥離防止対策 (泡発生による剥離防止)
   3. ブリスター対策 (局所剥離が増加する)
2. 微粒子の分散性をコントロールする
   1. 粘性塗膜内の分散性 (アンダーフィル剤)
3. 塗膜のコート性をコントロールする
   1. ピンホールとはじき (ピンホールの撲滅方法)
   2. 粘性指状変形VF (ギャップ内のピンホール解決法)
   3. 凹凸パターン (ピンニング効果)
4. 液滴と気泡の付着性をコントロールする
   1. 液滴成長制御 (表面の曇りのメカニズム)
   2. ナノバブルの付着性制御 (疎水性表面ほどバブルが付着する)
5. 表面を高品位にコントロールする
   1. プラズマ処理とのハイブリッド処理 (親水化制御)
   2. アルカリ処理とのハイブリッド処理 (WBL制御)
   3. ナノインプリント (モールドの離形処理)

参考資料

• 塗膜トラブルQ&A事例集 (トラブルの最短解決ノウハウ)
• 表面エネルギーによる濡れ・付着性解析 (測定方法)

質疑応答

技術相談、日頃のトラブル相談に応じます