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薄膜作製 入門

薄膜作製 入門

~スパッタ法、真空蒸着法、CVD法の基礎と薄膜評価・トラブル対策~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。

開催日

  • 2021年12月16日(木) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務に携わる方
  • 薄膜作製の若手技術者・新人の方
  • 薄膜作製に関してある程度の経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方

修得知識

  • 現場で必要とされる薄膜技術の基礎
  • 薄膜技術で必要とされる真空工学、表面物性工学の基礎
  • 薄膜の形成過程、薄膜の諸特性、薄膜とバルクとの違い
  • 真空蒸着法、スパッタ法、CVD法の特徴、類似点、違い、得られる薄膜の特徴
  • 必要な特性を有する薄膜を得るために必要なプロセス設計を行えるようになる
  • トラブル発生時、その解決に向けた指針を立てることができるようになる

プログラム

 薄膜技術は、電子デバイス、太陽電池、建材、食品産業と、さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では高性能で使いやすい薄膜作製装置が市販されており、昔よりも容易に薄膜作製が行えるようになりました。しかしながら、適切な薄膜作製のためには、薄膜技術に関する知識が必要なのは今も昔も変わりません。新規の条件で成膜を行う場合、必要な特性を有する薄膜を得るためには各種薄膜作製が膜質におよぼす影響を考慮しつつ、条件を選択する必要があります。また、薄膜作製プロセスで遭遇する種々のトラブルを解決するためには、その原因を分析し、適切に対処すること求められます。そのようなときに必要になるのが、薄膜作製技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
 本講座では、薄膜技術に携わる初級〜中級の技術者の方々を対象に、薄膜技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

  1. 薄膜技術ための基礎知識
    1. 真空工学
    2. 表面物性工学
    3. プラズマ工学
  2. 物理気相成長 (PVD) 法
    1. 真空蒸着法
      1. 原理
      2. 真空蒸着法の種類
      3. 真空蒸着法の留意事項
    2. スパッタ法
      1. 原理
      2. スパッタ法の種類
      3. スパッタ法で作製される薄膜の特徴
      4. スパッタ法の留意事項
  3. 化学気相成長 (CVD) 法
    1. 原理
    2. 化学気相成長法の種類
    3. 化学気相成長法で作製される薄膜の特徴
    4. 化学気相成長法の留意事項
  4. 薄膜評価法
    1. 形態観察
    2. 膜組成、膜構造分析
    3. 付着力、膜応力測定
    4. 電気的特性、光学的特性測定
  5. 薄膜作製プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと解決策
    1. 膜質に関するトラブル
    2. 装置に関するトラブル
    • 質疑応答

講師

  • 佐藤 英樹
    三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻
    准教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。