技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、スパッタリング法の理解に欠かせない真空・プラズマから、各種スパッタリング法の特徴、薄膜の評価、異常放電・薄膜の剥離などのトラブルと対策、シミュレーション手法や最新動向まで解説いたします。
スパッタリング技術を上手く扱うために理解すべき知識・技術を、装置・プロセスの開発に多くの経験を有する講師が分かりやすく解説いたします。
スパッタリング法は半導体からディスプレイデバイス、電子デバイスまで広く工業的に普及している技術である。薄膜形成方法の中でも、ソース材料 (ターゲット) が固体であり、有毒ガスを使用しないため、除害装置などを必要とせず、比較的簡便に取り扱うことができる。しかしながら、スパッタリングは、真空、プラズマ、電磁場、原子分子の衝突・拡散、化学反応など、いずれも目に見えない現象により成り立っているため、設備およびプロセスの設計や制御の根拠となるものを掴みにくく、経験や実験的アプローチに頼らざるを得ないという側面も持っている。
本講演では、スパッタリング技術の基礎となる真空とプラズマについて詳細に解説する。実際の工程で生じることが多い不具合の事例として、異常放電、密着力不足、残留応力等を取り上げ、その原因と対策について述べる。今後ますます重要になるであろうシミュレーション手法や、最近の技術動向などについても紹介する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2025/8/4 | 高屈折率ポリマーの分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2025/8/7 | プラズマプロセスにおける基礎と半導体微細加工へのプラズマによるエッチングプロセス | オンライン | |
2025/8/18 | 高屈折率ポリマーの分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2025/8/25 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
2025/8/25 | プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化 | オンライン | |
2025/8/27 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
2025/9/3 | プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化 | オンライン | |
2025/9/4 | スパッタ・真空蒸着による成膜技術と膜質改善技術の徹底解説 | オンライン | |
2025/9/5 | スパッタ・真空蒸着による成膜技術と膜質改善技術の徹底解説 | オンライン | |
2025/9/5 | 真空成膜技術・装置の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング | オンライン | |
2025/9/10 | 各種機能性ハードコートの材料、塗布製膜、耐候・耐久・密着性評価 | オンライン | |
2025/9/10 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
2025/9/24 | 基礎から学ぶポリイミドの高性能化・機能化設計 | オンライン | |
2025/9/25 | 押出・延伸・冷却による構造制御と可視化・解析による機能発現の最適化 | オンライン | |
2025/9/26 | 基礎から学ぶポリイミドの高性能化・機能化設計 | オンライン | |
2025/10/9 | 電子デバイス製造における真空および薄膜形成技術の基礎と応用 | オンライン |
発行年月 | |
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2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |