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薄膜トランジスタの基礎と高性能化・高信頼性化技術、最新動向

Zoomを使ったライブ配信セミナー

薄膜トランジスタの基礎と高性能化・高信頼性化技術、最新動向

~酸化物薄膜トランジスタの基礎からALD技術・応用まで~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、薄膜シリコントランジスタ、酸化物薄膜トランジスタの基礎知識から高性能化・高信頼性に向けた技術を解説いたします。

開催日

  • 2021年1月15日(金) 10時30分 16時30分

修得知識

  • 薄膜形成技術
  • 薄膜評価技術
  • 薄膜トランジスタの動作原理
  • 薄膜トランジスタの評価技術
  • 薄膜トランジスタの応用技術

プログラム

 薄膜トランジスタ技術は、ディスプレイを始め、LSI、メモリー、センサーなど様々な分野においてその応用がますます広がっている。本講演では、薄膜形成技術の基礎と評価技術、シリコン薄膜トランジスタ、酸化物薄膜トランジスタにおける高性能化・高信頼性化技術について、詳しく説明する。また、真空プロセスに加えて、液体プロセスについてもその形成技術を紹介する。また、新たな応用分野についても、最新動向について説明する。

  1. はじめに
  2. 薄膜技術の基礎
    1. 薄膜形成の物理
    2. 薄膜形成技術
    3. 薄膜の特長
    4. 薄膜の評価技術
    5. 薄膜の最新動向
  3. 薄膜トランジスタの動作原理
  4. 低温多結晶薄膜 (LTPS) トランジスタ
    1. 薄膜シリコンの結晶化技術
    2. 薄膜トランジスタの歴史
    3. デバイス構造
    4. プロセス技術
    5. 信頼性評価技術
    6. 回路応用技術
    7. LTPS技術の最新動向
  5. 酸化物薄膜トランジスタ
    1. 薄膜トランジスタの歴史
    2. 酸化物薄膜の物理
    3. デバイス構造
    4. プロセス技術
    5. 信頼性評価技術
    6. 回路応用技術
    7. 酸化物薄膜技術の最新動向
  6. まとめと今後の課題
    • 質疑応答

講師

  • 浦岡 行治
    奈良先端科学技術大学院大学 マテリアル研究プラットフォームセンター
    センター長

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 ミーティングテスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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