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遠藤 政孝

所属

大阪大学
産業科学研究所

役職

招聘教授

学位

工学博士

専門

  • 半導体リソグラフィ
  • レジスト
  • 微細加工用材料
  • 高分子化学

経歴

1983年から松下電器産業 株式会社 半導体研究センター、パナソニック 株式会社 プロセス開発センターにて、半導体リソグラフィプロセス、レジスト、微細加工用材料の開発に従事。
2009年から大阪大学産業科学研究所にて、EUVレジストの研究開発に従事。