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遠藤 政孝

所属

Eリソリサーチ

役職

代表

学位

工学博士

専門

  • 半導体リソグラフィ
  • レジスト
  • 微細加工用材料
  • 高分子化学

経歴

  • 1983年 松下電器産業株式会社 入社
    松下電器産業株式会社 半導体研究センター、パナソニック株式会社セミコンダクター社プロセス開発センターにて、リソグラフィ、レジストの開発に従事。
  • 2009年 大阪大学産業科学研究所 招聘教授
    レジスト、EUVレジストの研究開発に従事。
  • 2024年 Eリソリサーチ 設立
    レジスト、リソグラフィ、先端パッケージのコンサルティング、技術調査、講演活動を実施。