技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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大阪大学
産業科学研究所
1983年から松下電器産業 株式会社 半導体研究センター、パナソニック 株式会社 プロセス開発センターにて、半導体リソグラフィプロセス、レジスト、微細加工用材料の開発に従事。
2009年から大阪大学産業科学研究所にて、EUVレジストの研究開発に従事。
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2025/2/6 | レジスト/EUVレジスト・微細加工用材料の基礎と具体的なトラブル対策 | オンライン |
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2024/10/18 | レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向 | オンライン | |
| 2024/7/2 | EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性 | オンライン | |
| 2024/6/21 | EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性 | オンライン | |
| 2024/6/12 | レジスト/EUVレジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2024/5/30 | レジスト/EUVレジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2023/9/7 | レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向 | オンライン | |
| 2023/6/9 | リソグラフィ技術の開発動向とレジスト材料への要求特性、トラブル対策 | オンライン | |
| 2022/12/19 | レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2022/12/6 | レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2022/9/22 | レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策 | オンライン |