技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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物質の表面の状態を解析することは、その物質の特性を知る上で非常に重要です。物質表面を解析するためには、電子、X線、イオンなどを励起源として試料に照射することで試料から発生する信号を元に分析しなければなりません。この分析手法の中には、X線光電子分光法 (XPS) のようにスペクトルのみで表面を解析するものや、走査電子顕微鏡法 (SEM/EDS) やオージェ電子分光法 (AES) などの表面の形態観察を行える顕微鏡としての機能を利用するものもあります。
またトンネル顕微鏡 (STM) や原子間力顕微鏡 (AFM) などの走査プローブ顕微鏡法 (SPM) では、表面形態やその他の物性を原子レベルで評価することができます。ただし各種の表面分析装置は、得意なことと不得意なことがあります。「どのような試料で何を知りたいか」を明確にして、最適な手法あるいは複数の手法をチャレンジすることが大切です。
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| 発行年月 | |
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| 2025/3/31 | 電子顕微鏡〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/3/31 | 電子顕微鏡〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2007/12/10 | 表面・深さ方向の分析方法 【新装版】 |
| 1993/4/1 | はんだ接続の高信頼性化技術とその評価 |
| 1992/11/11 | VLSI試験/故障解析技術 |
| 1988/11/1 | EOS/ESD対策ハンドブック |
| 1988/2/1 | 半導体の故障モードと加速試験 |
| 1987/8/1 | 機構部品の故障現象と加速試験 |
| 1985/10/1 | 電子部品・電子装置の環境信頼性試験 |