1. 圧電MEMS技術を用いた高効率振動発電素子の開発

(2015年10月16日 10:00〜11:20)

1. 振動発電の基礎
2. 圧電MEMS振動発電素子の特徴
3. 圧電MEMS振動発電素子の応用範囲
4. 解析モデルの構築
5. 主な圧電体薄膜の説明と比較
6. 圧電体薄膜の材料開発技術
7. 圧電体薄膜の評価技術
8. BiFeO3薄膜の紹介
9. 圧電MEMS振動発電素子の試作例とその特性
10. 振動発電素子の評価方法
11. 振動解析に基づいた有効電気機械結合係数の評価
12. 高効率化・高出力化に向けた取り組み
13. 今後の展望と課題
• 質疑応答

2. 高性能エレクトレットおよびそれを用いた振動エナジーハーベスタへの開発

(2015年10月16日 11:30〜12:50)

1. ギャップクロージング方式を採用した振動エナジーハーベスタの提案および開発
2. ナノポーラスSiO2を用いた高耐熱性エレクトレットの作製および評価
3. 無機/有機ナノコンポジット材料を用いたエレクトレットの作製および評価
• 質疑応答

3. シリコンMEMSエレクトレットエナジーハーベスタの設計と実際

(2015年10月16日 13:35〜14:55)

静電型エナジーハーベスタとしてエレクトレット型を取り上げ、その原理から設計・最適化方法、評価方法までをまとめて学んでいただく

1. エナジーハーベスタとは
   1. 方式、原理、特徴と市場動静
2. 静電 (エレクトレット) 型振動式エナジーハーベスタ
   1. 原理、構造
   2. 設計方法
      1. ばねーマス系
      2. 等価回路
   3. 作製方法
      1. エレクトレット荷電
      2. MEMSプロセス
   4. 評価方法
      1. 光学的計測
      2. 電気的計測
3. まとめ
• 質疑応答

4. エネルギー・ハーベスティングを活用したセンサーネットワークの開発と振動発電技術への期待

(2015年10月16日 15:10〜16:30)

1. はじめに
2. エネルギーハーベスティング技術
   1. 適応領域と種類
   2. エネルギーマネジメント技術
3. M2Mセンサネット技術
   1. センサネットシステム
   2. 低電力化方式
4. エネルギーハーベスト適用事例
   1. 太陽光、熱、振動発電
   2. センサネットへの適用事例
5. 今後の課題
• 質疑応答