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プラズマの生成と各種基材の表面処理技術の基礎と応用

低圧～大気圧

プラズマの生成と各種基材の表面処理技術の基礎と応用

愛知県 開催 会場 開催
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概要

本セミナーでは、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種基材の表面処理技術の基礎と応用について、分かりやすく解説いたします。

開催日

  • 2015年4月24日(金) 13時00分 ～ 16時30分

受講対象者

  • プラズマ表面処理の応用分野の技術者、研究者
    • 太陽光発電
    • ハイバリア成膜
    • 親水・撥水
    • ディスプレイ
    • 集積回路
    • ミニマルファブなど

修得知識

  • プラズマの基礎
  • プラズマの生成と制御
  • プラズマを用いた表面処理
  • プラズマを用いた微粒子生成

プログラム

　近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズの拡大に伴い、従来広く用いられてきた化学薬品を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。

  1. プラズマの生成と制御
    1. プラズマの基本的性質
    2. 気体の絶縁破壊
    3. プラズマ生成技術 低圧力から大気圧まで
    4. プラズマ計測技術
  2. プラズマを用いた表面処理技術
    1. エッチング
    2. アッシング
    3. プラズマCVD
    4. プラズマ表面改質
    5. プラズマ重合
  3. 低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
    1. マイクロ波プラズマについて
    2. 表面波プラズマと体積波プラズマについて
    3. マイクロ波プラズマ実験装置
    4. 表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
    5. 体積波プラズマを用いた表面プロセスの例
  4. 低圧力RFプラズマを用いた表面プロセス
    1. RF放電プラズマについて
    2. RF放電プラズマ装置
    3. RF放電プラズマを用いた表面プロセスの例
  5. プラズマプロセスを用いた各種微粒子の作製
    1. 微粒子の産業応用について
    2. 直流アーク放電による炭素被覆磁性体微粒子の作製
    3. レーザーアブレーションによる酸化亜鉛微粒子の作製
    4. 低圧放電プラズマを用いた微粒子表面の化学修飾
  6. 大気圧プラズマを用いた表面プロセス
    1. 大気圧放電プラズマについて
    2. 誘電体バリア放電
    3. 大気圧プラズマジェット
    4. 誘電体バリア放電を用いた表面プロセスの例
    5. 大気圧プラズマジェットを用いた表面プロセスの例
  7. 液相中での大気圧放電プラズマによるプロセス
    1. バブルを利用した液相中大気圧プラズマについて
    2. 液中放電プラズマ実験装置
    3. メチレンブルーの分解実験の例
  8. まとめと今後の課題
    • 質疑応用・名刺交換
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講師

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会場

名古屋市中小企業振興会館 吹上ホール

4F 第2会議室

愛知県 名古屋市 千種区吹上二丁目6番3号
名古屋市中小企業振興会館 吹上ホールの地図
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 41,040円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 21,600円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)
  • 受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。
  • 同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
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