技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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ALD (原子層堆積法) とプラズマCVD (化学気相堆積法) のセミナーをセットにした特別コース
本コースは、ALD (原子層堆積法) とプラズマCVD (化学気相堆積法) のセミナーをセットにしたコースです。
セット受講で特別割引にてご受講いただけます。
2テーマ 通常受講料 : 通常受講料 : 92,340円 → 2コース申込 割引受講料 76,950 円
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Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
産業界でプラズマCVDによる成膜に従事する方々は、膜質をある方向に変えたいときに、装置のパラメータのどれを操作するとよいのかを一番知りたいはずです。しかし、プラズマCVDは電気工学・放電工学・化学工学・流体工学等が複雑に絡み合ったプロセスです。
これらを全部習得すれば完璧ですが、産業界の人にそんな暇は無いと思います。本講座では、プラズマCVDに携わる方々が、日々の業務の中で活かすことができ、「こうしたらいいよ」と、自分のアイデアも出せるようなエッセンスを身につけて頂くことを趣旨としました。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/6/7 | めっきの基礎および不良要因とその対策 | オンライン | |
2024/6/7 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解&最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン | |
2024/6/11 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/6/11 | 塗布膜におけるぬれ・広がり挙動、乾燥中の粒子挙動とその制御 | オンライン | |
2024/6/12 | 自動車塗料、塗装工程のCO2削減 | オンライン | |
2024/6/13 | めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 | オンライン | |
2024/6/13 | トライボロジーの基礎、メカニズムと表面分析 | オンライン | |
2024/6/18 | 起泡・消泡の基礎および評価のポイント | オンライン | |
2024/6/19 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解&最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン | |
2024/6/20 | プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術 | オンライン | |
2024/6/20 | めっき技術/新めっき技術と半導体・エレクトロニクスデバイスへの応用・最新動向 | オンライン | |
2024/6/21 | フッ素樹脂をはじめとするPFASの基礎と欧州PFAS規制の動向および用途別の代替手段 | オンライン | |
2024/6/24 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/6/24 | シランカップリング剤のメカニズムと使用方法 | オンライン | |
2024/6/25 | 界面・表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識と密着性の改善技術と評価方法 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/6/25 | 分子プレカーサー法による機能性薄膜の形成と応用事例 | オンライン | |
2024/6/26 | シランカップリング剤の反応メカニズム解析、界面 (層) 形成・表面の反応状態の分析・評価方法 | オンライン | |
2024/6/27 | ファイバーレーザ加工技術の基礎と応用ならびに最新動向 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/6/27 | 基材への塗布層の形成・コーティング技術、乾燥と欠陥・故障対策および機能性付与 | オンライン | |
2024/6/27 | ぬれ性の基礎と滑水性の評価・制御 | オンライン |
発行年月 | |
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2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |