技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本書は、最近のMEMS技術で制作されたデバイスや応用について、網羅的に詳解しております。
本書は、2009年4月発刊「 MEMSデバイス総論 」 の装丁および価格を改訂したものです。
内容は2009年の書籍と同じですので、ご購入時にお間違えないようご注意ください。
MEMSは、マイクロエレクトロニクス、マイクロメカトロニクス、マイクロオプティクスとそれを支える材料技術の技術融合体である。利用分野も多岐にわたっており、通信(光スイッチ)、バイオテクノロジー (診療医療)、センサ(自動車用加速度センサ、計測用圧力センサ)などがある。現在、これらの市場は応用範囲も広がり、毎年増大を続けており、半導体、ディスプレイ産業に次ぐ「デバイス産業第3の波になる!」と言われている。
本書では、最近の技術で制作されたデバイスやその応用について紹介する。
(「第1章 概要」より抜粋。一部変更)
早稲田大学
教授
植田 敏嗣
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