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光容量分光法によるワイドギャップ半導体の欠陥準位評価

光容量分光法によるワイドギャップ半導体の欠陥準位評価

オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2026年6月26日〜7月10日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2026年7月8日まで承ります。

概要

本セミナーでは、バンドギャップが大きくなるほど評価困難になる欠陥準位評価法の1つである光容量分光法の特徴や測定方法について、従来の評価技術と比較しながら測定原理から応用例までわかりやすく解説いたします。

開催日

  • 2026年6月25日(木) 13時00分16時30分

受講対象者

  • ワイドギャップ半導体の研究開発において欠陥準位評価に関心のある技術者、開発者、研究者

修得知識

  • 欠陥準位評価法の1つである光容量分光法の特徴・測定方法

プログラム

 ワイドギャップ半導体は高耐電圧・低損失・高温動作といった優れた物性から、Siを超える省エネルギー型パワーデバイス材料として期待されている。特に窒化物半導体では、AlGaN/GaNヘテロ界面に形成される二次元電子ガスを利用した高周波パワーデバイスが実用段階に達しているが、さらなる性能向上にはヘテロ構造中に残存する欠陥準位の理解が重要である。一方、酸化ガリウム (β-Ga2O3) はGaNやSiCを上回る物性値を持つ次世代パワー半導体として注目され、融液成長による基板の大口径化やデバイス化が進むものの、デバイス特性に直結する欠陥準位の知見は依然として乏しい。本セミナーでは、GaNやβ-Ga2O3などのGa系ワイドギャップ半導体における欠陥準位評価手法として光容量分光法 (SSPC) の原理を解説し、AlGaN/GaNヘテロ構造やβ-Ga2O3に存在する欠陥準位の評価事例を紹介する。
 次世代パワー半導体の結晶成長・デバイス開発には様々な課題があるが、欠陥準位に関してはバンドギャップが大きくなるほど評価困難になり、光を用いた欠陥準位評価法が必要となる。その欠陥準位評価法の1つである光容量分光法の特徴や測定方法を習得できる。

  1. 光容量分光法 (SSPC) の測定原理と特徴
    1. DLTS法の測定原理
    2. 光容量分光法 (SSPC) の測定原理
    3. SSPC微分解析による熱的準位と格子緩和の抽出
  2. GaNへの適用例
    1. AlGaN/GaNヘテロ構造に存在する欠陥準位
    2. p-GaNホモエピ膜に存在する欠陥準位
  3. β-Ga2O3への適用例
    1. EFG単結晶基板に存在する欠陥準位
    2. HVPEホモエピ膜に存在する欠陥準位

講師

  • 中野 由崇
    中部大学 工学部 電気電子システム工学科
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

  • 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
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  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
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  • セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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アーカイブ配信セミナーをご希望の場合

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2026年6月26日〜7月10日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。

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