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薄膜技術の基礎

薄膜形成プロセスで遭遇するトラブル対策のための

薄膜技術の基礎

~薄膜の基礎知識から、装置例、実際の適用例、薄膜の評価方法、トラブル対応まで~
オンライン 開催
  • ライブ配信セミナーには、特典としてアーカイブ配信が付きます。
  • アーカイブ配信の視聴期間は2025年8月6日〜12日を予定しております。
  • ライブ配信を受講しない場合は、「アーカイブ配信」をご選択ください。

概要

本セミナーでは、実務に必要な真空工学、表面物性工学、プラズマ工学、薄膜工学の知識、各種薄膜形成技術の原理・特徴、所望の特性を得るための薄膜形成条件を決めるための基礎知識、薄膜形成に関するトラブルの診断に必要な基礎について、具体的事例を交えながら詳しく解説いたします。

開催日

  • 2025年7月30日(水) 10時00分16時00分

受講対象者

  • 薄膜形成に関連する研究・開発・製造業務に従事する方、これから携わる方
    • 半導体
    • 電子デバイス
    • 建材
    • 食品産業
    • 医療など

修得知識

  • 実務に必要なレベルの真空工学、表面物性工学、プラズマ工学、薄膜工学の知識
  • 各種薄膜形成技術の原理、特徴に関する知識
  • 所望の特性を得るための薄膜形成条件を決めるための基礎知識
  • 薄膜形成に関するトラブルの診断に必要な基礎知識

プログラム

 薄膜技術は、半導体集積回路やフラットパネルディスプレイなどの電子デバイス製造はもちろんのこと、光学、太陽電池、建材、食品産業、医療と、さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では多機能で高性能な薄膜形成装置が市販されており、かつてと比べて容易に薄膜形成が行えるようになりました。ややもすると、薄膜形成装置は単なるブラックボックスで、そのしくみや薄膜形成の原理をよく理解せず、決められた手順だけ守って日々の仕事をこなす状況になりがちです。
 しかしながら、新規の条件で薄膜形成を行う場合、所望の薄膜を得るためには各種条件が膜質におよぼす影響を考慮しつつ、条件を選択する必要があります。また、薄膜形成プロセスで遭遇する種々のトラブルに際しては、その原因を診断し、適切に対処すること求められます。そのようなときに必要になるのが、薄膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
 本講座では、薄膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

  1. 成膜技術ための基礎知識
    1. 真空工学
    2. 表面物性工学
    3. プラズマ工学
  2. 物理気相成長 (PVD) 法
    1. 真空蒸着法
      1. 原理
      2. 真空蒸着法の種類
      3. 真空蒸着法の留意事項
    2. スパッタ法
      1. 原理
      2. スパッタ法の種類
      3. スパッタ法で作製される薄膜の特長
      4. スパッタ法の留意事項
  3. 化学気相成長 (CVD) 法
    1. 原理
    2. 化学気相成長法の種類
    3. 化学気相成長法による薄膜形成例
    4. 化学気相成長法の留意事項
  4. 薄膜評価法
    1. 形態観察
    2. 膜組成、膜構造分析
    3. 付着力、膜応力測定
    4. 電気的特性、光学的特性測定
  5. 成膜プロセスで遭遇する さまざまなトラブル
    1. 膜質に関するトラブル
    2. 装置に関するトラブル
  6. まとめ
  7. 質疑応答

講師

  • 佐藤 英樹
    三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時申込割引について

複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。

  • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
  • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
  • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

  • 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

ライブ配信セミナーをご希望の場合

  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

アーカイブ配信セミナーをご希望の場合

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2025年8月6日〜12日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。

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