技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、各種電子顕微鏡の構造と原理、観察目的に応じた観察手法の選択などについてわかりやすく解説!TEM用薄片試料の作製方法、ノウハウについて詳解いたします。
LSI、発光ダイオード、受光素子、高周波トランジスタなどの半導体デバイスは、社会、システム、産業の多岐にわたる分野において幅広く用いられている。
これらのデバイスの高性能化、高機能化さらには高信頼化を実現するためには、デバイスの材料である各種半導体薄膜材料をはじめ、金属膜、絶縁膜材料の結晶性 (不純物、欠陥、界面構造など) を詳細に分析・評価する必要がある。その最も重要な評価法の一つとして電子顕微鏡法 (SEM,TEM) が広く用いられている。
しかし、本方法を用いて、これらの材料を適正に評価・解析するためには、目的に応じた最適な評価・解析手法を用いる必要がある。
また、TEM観察を行うには、15 nmから0.2μmの薄い膜を作製する必要がある。そのため、試料薄片化をうまく行うためには、経験に基づいた、多くの工夫とノウハウがある。
そこで、本セミナーでは、永年、Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体薄膜およびデバイスのSEM,TEMによる分析評価に携わってきた専門家により、これから材料・デバイスの分析評価を始める方や中堅の方にも、実用的な電子顕微鏡の各種解析法や試料作製法の詳細を豊富な事例を挙げながら分かりやすく解説していただく。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/5/7 | 電子部品の特性とノウハウ (2) | オンライン | |
2024/5/7 | 電子部品の特性とノウハウ (2日間) | オンライン | |
2024/5/7 | エヌビディアGPU祭りと半導体不況本格回復への羅針盤 | オンライン | |
2024/5/8 | 自動車の電動化に向けた半導体封止樹脂の設計と評価 | オンライン | |
2024/5/8 | 半導体パッケージにおけるチップレット集積技術の最新動向と評価 | オンライン | |
2024/5/10 | 半導体ウェハの欠陥制御と検出、評価技術 | オンライン | |
2024/5/13 | 電子機器のノイズの基礎と設計段階から盛込む実践的対策技術 | オンライン | |
2024/5/16 | 半導体めっきの基礎とめっき技術の最新技術動向 | オンライン | |
2024/5/17 | 半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 | オンライン | |
2024/5/21 | チップレット集積技術の最新動向と要素技術展望 | オンライン | |
2024/5/21 | プラズマプロセスにおける基礎と半導体微細加工へのプラズマによるエッチングプロセス | オンライン | |
2024/5/21 | 表面・界面分析手法の基礎と実務への活用 | オンライン | |
2024/5/23 | 電子機器の熱設計、熱対策 | オンライン | |
2024/5/23 | はんだ付け用フラックスと実装不良の原因と対策 | オンライン | |
2024/5/27 | SiCパワー半導体の最新動向とSiC単結晶ウェハ製造の技術動向 | オンライン | |
2024/5/28 | 先進半導体パッケージングの市場・技術動向と開発トレンド | オンライン | |
2024/5/28 | 半導体用レジストの基礎、材料設計、プロセス、評価方法 | オンライン | |
2024/5/29 | ドライエッチングのメカニズムと最先端技術 | オンライン | |
2024/5/30 | 半導体製造におけるシリコンウェーハのクリーン化技術・洗浄技術 | オンライン | |
2024/5/30 | 半導体洗浄の基礎と洗浄機内の流れ・反応および洗浄法の評価方法 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2024/4/30 | 次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術 |
2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2023/4/28 | 次世代半導体パッケージの最新動向とその材料、プロセスの開発 |
2022/11/29 | 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2022/6/17 | 2022年版 電子部品市場・技術の実態と将来展望 |
2022/6/13 | パワー半導体〔2022年版〕 |
2022/6/13 | パワー半導体〔2022年版〕 (CD-ROM版) |
2021/11/12 | レジスト材料の基礎とプロセス最適化 |
2021/6/18 | 2021年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望 |
2020/7/17 | 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望 |
2019/7/19 | 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望 |
2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
2018/1/10 | SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント |
2014/10/31 | 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/10/31 | 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/2/15 | 3M〔米国特許版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/2/15 | 3M〔米国特許版〕 技術開発実態分析調査報告書 |