クライアントからクリーンルームの異物管理について監査時に指摘されることが増えているが、従来のクリーンルーム管理からどのように対策していけばよいのか、正直よく分からない。品質担当者がクライアントからの要求を聞いてくるが、現場が対応できずに困っている。というような声を聴くことが増えてきました。クリーンルーム管理と言えば、パーティクルカウンターを使用して浮遊微粒子数を定点観測する、という方法が主流でした。しかし、異物不良ゼロを目指す最新のクリーンルームコンセプトでは通用しません。
　そこで本講座では、異物不良ゼロを目指す上で必要となるクリーンルーム管理の手法について解説します。お使いのクリーンルームを評価するときにそのポイントはどこなのか? どういう判断基準で管理すればよいか? 実験動画や事例を交えて初心者の方にもわかりやすく、ノウハウをお教えします。

1. 異物不良はなぜ起こる?
   1. クリーンルームとは?
   2. クリーンルームの定義と規格。
   3. 異物はどこから来る?
   4. クリーンルームは微小異物をどのように防いでいる?
   5. 微小異物の大きさ
   6. 微小異物の挙動を可視化
   7. 微小異物の厄介な点
   8. 微小異物の見える化
      1. クリーンルームライト
      2. 気流可視化装置
      3. 数値管理
      4. 情報の共有
2. 除塵とクリーンルーム清掃
   1. 付着のメカニズム・除塵のメカニズム
      1. エア除塵
      2. ワイパー (布による拭き上げ)
      3. 粘着ローラー
   2. クリーンルーム清掃
      1. クリーンルーム清掃の原則
      2. クリーンルーム清掃ツールの種類と特徴
      3. いつ清掃を行うか?
      4. 床の清掃
      5. 作業台の清掃
      6. 装置内の清掃
      7. 装置と局所クリーン化
      8. 治具の清掃
      9. コンテナ、トレイの清掃
      10. 清掃しやすいクリーンルーム/しにくいクリーンルーム
      11. 清掃用具のメンテナンス
      12. クリーンルーム清掃の評価
      13. ここまでが、クリーンルーム清掃
3. 持ち込み異物の軽減
   1. クリーンウエアの管理
      1. クリーンクリーニング
      2. タンブリング試験
   2. 前室の管理
      1. 前室での交差汚染
      2. 前室清掃のポイント
   3. エアシャワー
      1. 正しいエアシャワーの運用方法
      2. エアシャワーの除塵率
      3. エアシャワーと粘着ローラー
      4. エアシャワーの静電気対策
      5. インテリジェントエアシャワー
   4. クリーンルームワイパーを考える
      1. 不織布ワイパーからの発塵
      2. ワイパーの運用方法
4. 製品への異物の付着防止
   1. 静電気付着とは? ESD対策との違い
      1. クーロンの法則から対策を読み解く
      2. 静電気付着対策と清掃
   2. クリーンルーム気流と付着
      1. 気流による異物付着の例
      2. 気流改善提案
5. 作業員教育
   1. クリーン化推進のために…
   2. クリーン化の6S
   3. クリーン化推進委員会