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次世代パワー半導体とパワーデバイスの結晶欠陥評価技術

次世代パワー半導体とパワーデバイスの結晶欠陥評価技術

~ワイドギャップ半導体の結晶評価の各手法の原理と適用事例、範囲と課題~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、ワイドギャップ半導体の結晶評価技術の開発に焦点を当て、評価技術の原理と事例を基礎から解説いたします。

開催日

  • 2026年7月29日(水) 10時30分16時30分

受講対象者

  • ワイドギャップパワー半導体の結晶成長と評価に携わる研究者・技術者

修得知識

  • パワーデバイス用半導体結晶中の欠陥の評価技術

プログラム

 4H-SiC、GaN、β-Ga2O3、AlNにに代表されるワイドギャップ化合物半導体は、高電力密度、低損失、高温動作時の安定性など、従来の半導体材料を凌駕する特性を有しており、近年、これらを用いた次世代パワーデバイスの研究開発が急速に進展している。しかし、これらの材料は強い共有結合を持つため結晶成長が難しく、成長後の結晶中には転位などの格子欠陥が高密度で存在する。一部の格子欠陥はデバイス性能や信頼性を著しく低下させる要因 (いわゆるキラー欠陥) となるため、欠陥の分布や種類を正確に把握し、それらの情報を結晶成長およびデバイスプロセスにフィードバックすることが極めて重要である。
 本講演では、ワイドギャップ半導体の結晶評価技術の開発に焦点を当て、各手法の原理と適用事例について基礎から解説する。加えて、各評価技術の適用範囲や課題についても述べるとともに、放射光X線トポグラフィーをはじめ、エッチピット法、透過型電子顕微鏡 (TEM) 、多光子励起顕微鏡など、最新の評価手法に関する取り組みについて紹介する。

  1. はじめに
    1. パワーデバイス用ワイドギャップ半導体
    2. 結晶中の欠陥
    3. 欠陥評価手法とその適用範囲
  2. 結晶評価手法
    1. 選択性化学エッチング (エッチピット法)
      1. SiCの溶融KOH+Na2O2エッチング
      2. GaNのエッチピットおよびTEMによる検証
      3. Ga2O3のKOH+NaOH共晶エッチングと熱リン酸処理
    2. 透過型電子顕微鏡
      1. gb解析による転位バーガースベクトルの判定
      2. LACBED法
    3. 多光子励起顕微鏡
      1. 多光子励起顕微鏡の原理
      2. GaN結晶中の転位の多光子励起顕微鏡観察と3D可視化
    4. X線回折とX線トポグラフィー
      1. X線回折
      2. X線トポグラフィーの原理
      3. 反射配置と透過配置
      4. SiCのX線トポグラフィーの評価例
      5. GaNのX線トポグラフィーの評価例
      6. Ga2O3のX線トポグラフィーの評価例
      7. AlNのX線トポグラフィーの評価例
    5. その他の手法
  3. 最新の研究内容
    1. 異常透過および転位の動力学コントラスト
    2. X線トポグラフィーを用いたデバイスの評価
    3. 結晶中欠陥の三次元可視化
  4. 質疑応答

講師

  • 姚 永昭
    三重大学 研究基盤推進機構 半導体・デジタル未来創造センター
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,200円 (税別) / 42,020円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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