技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、講師の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構について解説いたします。
また、最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティングにも活用が検討されています。原子層堆積での高品質膜の達成のため、表面反応を中心とした反応機構の理解と、モニタリング、そして適切な材料選択、プロセス調整の知識が欠かせません。
山形大学ではこれまで原子層堆積法のその場観察と低温化研究を進めてまいりましたが、我々の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構理解の達成を目標とします。さらに最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/11/18 | 材料表面への (超) 撥水性・ (超) 親水性の付与技術と制御および分析・評価、応用技術 | オンライン | |
| 2026/11/19 | 半導体メモリの技術・業界動向と今後の市場展望 | オンライン | |
| 2026/11/20 | ダイコーティングの基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/11/24 | ダイコーティングの基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/11/24 | シリコンフォトニクスにおける集積光デバイスの設計・評価技術と応用展開 | オンライン | |
| 2026/11/25 | ポリマーブラシの基礎と応用 | オンライン | |
| 2026/11/25 | 半導体洗浄における不良発生要因とパーティクル除去の基礎・実践 | オンライン | |
| 2026/11/26 | GaNパワーデバイスの最新動向、課題と今後の展望 | オンライン | |
| 2026/11/27 | 高分子接着の基礎と接着性制御に向けた界面の構造・応力評価、表面処理技術 | オンライン | |
| 2026/12/1 | 半導体メモリの技術・業界動向と今後の市場展望 | オンライン | |
| 2026/12/3 | シリコンフォトニクスにおける集積光デバイスの設計・評価技術と応用展開 | オンライン | |
| 2026/12/16 | 動的ぬれ性の考え方と滑落性に優れた撥水/撥油/親水性表面の設計指針 | オンライン | |
| 2026/12/16 | シリカの分散・凝集制御とフィラーとして使いこなす活用術 | オンライン | |
| 2026/12/18 | シリカの分散・凝集制御とフィラーとして使いこなす活用術 | オンライン | |
| 2027/1/6 | 動的ぬれ性の考え方と滑落性に優れた撥水/撥油/親水性表面の設計指針 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2008/9/1 | 半導体製造用炭化ケイ素 技術開発実態分析調査報告書 (PDF版) |
| 2008/9/1 | 半導体製造用炭化ケイ素 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 1999/10/29 | DRAM混載システムLSI技術 |
| 1992/11/11 | VLSI試験/故障解析技術 |
| 1990/6/1 | LSI周辺金属材料・技術 |
| 1988/10/1 | 高密度表面実装 (SMT) におけるLSIパッケージング技術 |
| 1988/2/1 | 半導体の故障モードと加速試験 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
| 1986/3/1 | 光学部品の加工・測定技術 |
| 1985/12/1 | アナログIC/LSIパターン設計 (Ⅰ) |
| 1985/11/1 | アナログIC/LSIパターン設計 (Ⅱ) |