技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術

高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術

~分子設計・合成方法と最新型EUV用レジスト材料の研究動向~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。

配信期間

  • 2026年1月14日(水) 10時30分2026年1月29日(木) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2026年1月14日(水) 10時30分

受講対象者

  • フォトレジストに関連する技術者、開発者、研究者
  • フォトレジストで課題を抱えている方
  • これからフォトレジストに携わる方

修得知識

  • レジスト材料の基礎
  • レジスト材料の合成方法
  • レジスト材料の評価方法
  • レジスト材料の開発方法

プログラム

 フォトレジスト材料は、ポジ型、ネガ型、化学増幅型、非化学増幅型などとして分類され、i線、G線、KrF、ArF、EB、およびEUV露光用レジスト材料として活用されている。高感度化をすること、すなわち、露光量を少なくさせることは、短時間でパタンニング処理を可能にし、生産性を上げることを可能にする。しかし、それだけではなく、レジストパタンの解像性を上昇させ、レジストパタンのラフネスの改善にも大きく貢献することになる。次世代レジストシステムとして、EUV露光システムが実用化段階に入っているが、最も研究開発が必要とされているのは、EUV用のレジスト材料の開発である。現在のところ、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるとされるレジスト材料は未だない。新しいレジスト材料の開発は、様々なレジスト特性を評価検討する必要があるが、まずは少ない露光量でパタンニングが可能であること、すなわち高感度であることが最優先である。実際、EUV用レジスト材料においても、より高感度なレジスト材料の開発が急務とされている。
 本セミナーにおいて、露光システムに対応したレジスト材料の分子設計指針から、最新のEUV用レジスト材料の開発動向から、次世代の分子設計指針まで解説する。

  1. レジスト材料
    1. 原理
    2. レジスト材料の例
    3. 化学増幅型レジスト
  2. ポジ型レジスト材料
    1. 材料的な特性
    2. 主な応用・用途
  3. ネガ型レジスト材料
    1. 材料的な特性
    2. 主な応用・用途
  4. 高分子レジスト材料と低分子レジスト
    1. 材料的な特性
    2. 主な応用・用途
  5. レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
    1. レジスト材料の評価項目、評価手法について
    2. レジスト材料の評価方法と開発例
  6. 最新型レジスト材料
    1. メタルレジスト
    2. EB, EUV用レジスト材料
  7. 質疑応答

講師

  • 工藤 宏人
    関西大学 化学生命工学部 化学・物質工学科
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,200円 (税別) / 42,020円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

アーカイブ配信セミナー

  • 「ビデオグ」を使ったアーカイブ配信セミナーとなります。
  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCなどからご視聴ができます。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 別途、ID,パスワードをメールにてご連絡申し上げます。
  • 視聴期間は2026年1月14日〜29日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は印刷・送付いたします。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2025/11/24 結晶性高分子の強度を支配するタイ分子の基礎理解と材料の高強度化・高耐久化設計 オンライン
2025/11/25 何方でも理解できる発泡プラスチックの基礎 オンライン
2025/11/25 熱伝導材料・放熱材料の設計ノウハウと特性評価 オンライン
2025/11/25 プラスチック・ゴム成形におけるブリードアウトの発生メカニズムと防止対策 オンライン
2025/11/26 高分子材料の構造、物性分析 オンライン
2025/11/26 「ポリプロピレン」の材料としての基本的な構造、特性、その応用 オンライン
2025/11/26 熱伝導材料・放熱材料の設計ノウハウと特性評価 オンライン
2025/11/26 プラスチック・ゴム成形におけるブリードアウトの発生メカニズムと防止対策 オンライン
2025/11/27 ヒートシールの基礎、接合のメカニズムと品質管理・不具合対策 オンライン
2025/11/27 高分子成形加工を理解するための高分子レオロジー入門 オンライン
2025/11/27 PPS樹脂の種類、特性と応用展開 オンライン
2025/11/27 エポキシ樹脂の基礎、硬化剤との反応および副資材による機能化 オンライン
2025/11/27 粘着・剥離のメカニズムとその制御 オンライン
2025/11/28 高分子分散剤の種類、作用機構、取捨選択と効果的な配合・添加方法 オンライン
2025/11/28 ケミカルリサイクル技術の基本、手法の適用・選択と技術開発動向 オンライン
2025/11/28 プラスチック材料の高次構造・力学物性の制御・解析手法 オンライン
2025/12/1 押出混練機内の樹脂挙動と混練評価、最適化技術 オンライン
2025/12/1 粘着・剥離のメカニズムとその制御 オンライン
2025/12/2 樹脂部品の特性と材料費/加工費/型費の概算法から検図法まで学ぶ超実務設計 オンライン
2025/12/4 ゴム・タイヤ材料の低環境負荷技術と今後の展望 オンライン