技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2025年10月10日 10:30〜12:00)
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、露光システムに対応したレジスト材料が開発されてきた。2017年より極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用化されている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料の開発が必要とされ続けている。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
(2025年10月10日 13:00〜14:30)
EUVリソグラフィーが実用化されてデバイス製造へも適用が進んでいますが、さらなる高解像性の要求からハイパーNA (NA0.55) のEUVスキャナーの導入が検討されています。
ハイパーNAでは、DOFの観点、および解像性から、従来のCARレジストに代わってメタルレジストが使われると言われています。
本講座では、EUVレジストの概要および特にEUVメタルレジストの評価方法について紹介します。
(2025年10月10日 14:45〜16:15)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、極端紫外光 (EUV) リソグラフィが実現された。
本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価およびレジスト性能への金属コアおよび有機配位子の効果に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/9/29 | アクリレートモノマー・オリゴマーの種類、特徴、重合と新しい分子設計の考え方 | オンライン | |
| 2026/9/29 | 高分子技術者のためのレオロジー (入門と実践活用) | オンライン | |
| 2026/9/29 | バリアフィルム作製の基礎とガス透過性メカニズム・評価技術および最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/9/29 | フィルム成形・製造の基礎と実際、トラブル対策 | オンライン | |
| 2026/9/30 | トライボロジーの基礎とプラスチック材料の摩擦摩耗特性向上 | オンライン | |
| 2026/9/30 | 押出成形のトラブル対策 Q&A講座 | オンライン | |
| 2026/9/30 | 半導体封止材用エポキシ樹脂と硬化剤・硬化促進剤の種類・特徴および新技術 | オンライン | |
| 2026/9/30 | プラスチック・ゴム成形品におけるブリードアウト・ブルームの発生メカニズムと原因分析・防止対策 | オンライン | |
| 2026/9/30 | レジストリソグラフィー技術の基礎と実務およびトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/9/30 | EU包装/包装廃棄物規則 (PPWR) の重要事項・最新動向と国内企業に求められる実務対応 | オンライン | |
| 2026/9/30 | レオロジーを特許・権利化するための基礎科学、測定技術、出願戦略 | オンライン | |
| 2026/9/30 | 摩擦・摩耗の基礎と摩耗メカニズムの理解・分析・評価技術 | オンライン | |
| 2026/9/30 | プラスチックスのリサイクルやバイオマス利用の現状と技術動向、将来展望 | オンライン | |
| 2026/10/1 | バリアフィルム作製の基礎とガス透過性メカニズム・評価技術および最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/10/1 | プラスチック・ゴム成形品におけるブリードアウト・ブルームの発生メカニズムと原因分析・防止対策 | オンライン | |
| 2026/10/5 | ポリマーの高屈折率化技術 | オンライン | |
| 2026/10/5 | 高分子複合材料の強度と耐衝撃性 | オンライン | |
| 2026/10/6 | エポキシ樹脂用硬化剤の種類、反応機構、選び方、使い方 | オンライン | |
| 2026/10/6 | 高分子結晶及び結晶化プロセスの基礎、制御と結晶構造の解析手法 | オンライン | |
| 2026/10/6 | 高分子材料の相溶性評価に活かす溶解度パラメータ (SP・HSP) の基礎と実践 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2022/5/31 | 自動車マルチマテリアルに向けた樹脂複合材料の開発 |
| 2022/5/30 | 世界のバイオプラスチック・微生物ポリマー 最新業界レポート |
| 2021/12/24 | 動的粘弾性測定とそのデータ解釈事例 |
| 2021/7/30 | 水と機能性ポリマーに関する材料設計、最新応用 |
| 2021/7/28 | プラスチックリサイクル |
| 2021/6/29 | UV硬化樹脂の開発動向と応用展開 |
| 2021/5/31 | 重合開始剤、硬化剤、架橋剤の選び方、使い方とその事例 |
| 2021/5/31 | 高分子材料の劣化・変色対策 |
| 2021/4/30 | 建築・住宅用高分子材料の要求特性とその開発、性能評価 |
| 2021/1/29 | 高分子材料の絶縁破壊・劣化メカニズムとその対策 |
| 2020/11/30 | 高分子の延伸による分子配向・結晶化メカニズムと評価方法 |
| 2020/11/30 | 高分子の成分・添加剤分析 |
| 2020/10/30 | ポリウレタンを上手に使うための合成・構造制御・トラブル対策及び応用技術 |
| 2020/9/30 | 食品容器包装の新しいニーズ、規制とその対応 |
| 2020/3/31 | 自己修復材料、自己組織化、形状記憶材料の開発と応用事例 |
| 2020/1/31 | 添加剤の最適使用法 |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2019/10/31 | UV硬化技術の基礎と硬化不良対策 |
| 2019/1/31 | マテリアルズ・インフォマティクスによる材料開発と活用集 |
| 2018/11/30 | エポキシ樹脂の高機能化と上手な使い方 |