技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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このセミナーは2025年4月に開催したセミナーのオンラインセミナー:オンデマンド配信です。
視聴方法のご案内メールの到着日より10営業日の間、動画をご視聴いただけます。
お申込は、2025年6月27日まで受け付けいたします。
(収録日:2025年4月17日 ※映像時間:約2時間9分)
本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
近年2nmスケールの半導体が非常に注目を集めている。その中の核技術の1つとしてレジストがあげられる。本講演では1) メタルレジストがなぜ重要か、2) 各社が開発したメタルレジスト、3) EUV光利用におけるメタルレジストの必要性、4) メタルレジストのEUV露光による反応機構を中心に講演を行っていく。必要に応じて、2nmスケール半導体作製における核技術、世界動向についても講演を行う。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/6/23 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2025/6/23 | 絶縁材料の劣化メカニズムと部分放電計測ならびに寿命評価 | オンライン | |
| 2025/6/24 | フィルム製膜における延伸・配向制御、その評価と応用 | オンライン | |
| 2025/6/24 | 各種プラスチック成形品の破損トラブルと原因解析 | オンライン | |
| 2025/6/24 | 医用材料の基礎と要求特性および応用展開・最新動向 | オンライン | |
| 2025/6/24 | アコースティックエミッション計測の基礎、計測・評価手法と応用事例 | オンライン | |
| 2025/6/25 | ゴムの架橋と特性解析・制御 | オンライン | |
| 2025/6/25 | 押出成形の基礎と成形不良の原因・対策 | オンライン | |
| 2025/6/25 | ポリウレタンフォームの材料設計と機械特性の解析、予測 | オンライン | |
| 2025/6/25 | 高分子における残留応力/内部応力の発生メカニズムと低減化 | オンライン | |
| 2025/6/26 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
| 2025/6/26 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/26 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/26 | 高分子の相溶性と結晶化の基礎的理解と高次構造形成の考え方 | オンライン | |
| 2025/6/27 | 各種プラスチック成形品の破損トラブルと原因解析 | オンライン | |
| 2025/6/27 | ゴムの架橋と特性解析・制御 | オンライン | |
| 2025/6/27 | プリント基板用エポキシ樹脂・硬化剤・硬化促進剤の種類と特徴および新技術 | オンライン | |
| 2025/6/27 | DSAリソグラフィへ向けたブロック共重合体の合成と自己組織化プロセス | オンライン | |
| 2025/6/27 | 高分子微粒子における各種合成法の基礎と形状制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/30 | UV硬化樹脂の硬化不良要因と硬化状態の測定・評価技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
| 2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
| 2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
| 2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |